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[發明專利]一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置在審

專利信息
申請號: 201810792629.2 申請日: 2018-07-18
公開(公告)號: CN108619833A 公開(公告)日: 2018-10-09
發明(設計)人: 楊春水;司馬超;張坤;曹小康;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩 申請(專利權)人: 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
主分類號: B01D47/06 分類號: B01D47/06;B01D53/18
代理公司: 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138 代理人: 鄭直
地址: 241000 安徽省蕪湖*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 水洗腔 廢水箱 噴水口 法蘭 出水口法蘭 水洗噴淋 出氣口法蘭 進氣口法蘭 進水口法蘭 粉塵環境 水平焊接 酸性氣體 豎直 焊接 粉塵 半導體制造過程 噴頭 處理設備 工藝氣體 水流沖洗 連接管 掉落 廢氣
【權利要求書】:

1.一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:包括水洗腔體(1)和安裝在水洗腔體(1)上的進氣口法蘭(2)、出氣口法蘭(3)和出水口法蘭(4),所述進氣口法蘭(2)和出氣口法蘭(3)分別豎直焊接在水洗腔體(1)的頂部左側和右側,所述出水口法蘭(4)豎直焊接在水洗腔體(1)的底部,所述水洗腔體(1)的下方設有廢水箱(6),所述廢水箱(6)的頂部焊接有進水口法蘭(17),所述出水口法蘭(4)通過連接管(5)和廢水箱(6)的進水口法蘭(17)連接,所述水洗腔體(1)的左側上部和下部分別水平焊接有噴水口法蘭一(7)和噴水口法蘭二(8),所述水洗腔體(1)的右側下部水平焊接有噴水口法蘭三(9),所述噴水口法蘭一(7)、噴水口法蘭二(8)和噴水口法蘭三(9)內設有噴頭(15)。

2.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的內部中間豎直安裝有擋板(16),所述擋板(16)和水洗腔體(1)的頂部連接并將水洗腔體(1)的內部分隔成左、右兩個腔室。

3.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的前側在每個噴頭(15)安裝處對應設有矩形的觀察口,所述觀察口的內側均布焊接有壓鉚螺母(18),所述觀察處的外側通過鎖緊螺釘(10)安裝有透明面板(12),所述透明面板(12)和水洗腔體(1)之間加裝有密封墊(11),所述密封墊(11)的材質為含有玻璃纖維的聚四氟乙烯復合材料。

4.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的內部的下方設有過濾板(14),所述過濾板(14)的下方設有支撐板(13)并焊接在水洗腔體(1)的內壁上,所述過濾板(14)通過支撐板(13)水平安裝在水洗腔體(1)內。

5.根據權利要求3或4所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的左側下部也設有矩形的觀察口,所述觀察口的底部和支撐板(13)處于相同的水平高度。

6.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的內部及內部的焊接件做聚四氟乙烯涂層覆蓋處理,所述焊接件包括支撐板(13)和壓鉚螺母(18)。

7.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述進氣口法蘭(2)和出氣口法蘭(3)的數量分別為四個和一個。

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