[發明專利]一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置在審
| 申請號: | 201810792629.2 | 申請日: | 2018-07-18 |
| 公開(公告)號: | CN108619833A | 公開(公告)日: | 2018-10-09 |
| 發明(設計)人: | 楊春水;司馬超;張坤;曹小康;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩 | 申請(專利權)人: | 安徽京儀自動化裝備技術有限公司 |
| 主分類號: | B01D47/06 | 分類號: | B01D47/06;B01D53/18 |
| 代理公司: | 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138 | 代理人: | 鄭直 |
| 地址: | 241000 安徽省蕪湖*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 水洗腔 廢水箱 噴水口 法蘭 出水口法蘭 水洗噴淋 出氣口法蘭 進氣口法蘭 進水口法蘭 粉塵環境 水平焊接 酸性氣體 豎直 焊接 粉塵 半導體制造過程 噴頭 處理設備 工藝氣體 水流沖洗 連接管 掉落 廢氣 | ||
1.一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:包括水洗腔體(1)和安裝在水洗腔體(1)上的進氣口法蘭(2)、出氣口法蘭(3)和出水口法蘭(4),所述進氣口法蘭(2)和出氣口法蘭(3)分別豎直焊接在水洗腔體(1)的頂部左側和右側,所述出水口法蘭(4)豎直焊接在水洗腔體(1)的底部,所述水洗腔體(1)的下方設有廢水箱(6),所述廢水箱(6)的頂部焊接有進水口法蘭(17),所述出水口法蘭(4)通過連接管(5)和廢水箱(6)的進水口法蘭(17)連接,所述水洗腔體(1)的左側上部和下部分別水平焊接有噴水口法蘭一(7)和噴水口法蘭二(8),所述水洗腔體(1)的右側下部水平焊接有噴水口法蘭三(9),所述噴水口法蘭一(7)、噴水口法蘭二(8)和噴水口法蘭三(9)內設有噴頭(15)。
2.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的內部中間豎直安裝有擋板(16),所述擋板(16)和水洗腔體(1)的頂部連接并將水洗腔體(1)的內部分隔成左、右兩個腔室。
3.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的前側在每個噴頭(15)安裝處對應設有矩形的觀察口,所述觀察口的內側均布焊接有壓鉚螺母(18),所述觀察處的外側通過鎖緊螺釘(10)安裝有透明面板(12),所述透明面板(12)和水洗腔體(1)之間加裝有密封墊(11),所述密封墊(11)的材質為含有玻璃纖維的聚四氟乙烯復合材料。
4.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的內部的下方設有過濾板(14),所述過濾板(14)的下方設有支撐板(13)并焊接在水洗腔體(1)的內壁上,所述過濾板(14)通過支撐板(13)水平安裝在水洗腔體(1)內。
5.根據權利要求3或4所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的左側下部也設有矩形的觀察口,所述觀察口的底部和支撐板(13)處于相同的水平高度。
6.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述水洗腔體(1)的內部及內部的焊接件做聚四氟乙烯涂層覆蓋處理,所述焊接件包括支撐板(13)和壓鉚螺母(18)。
7.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置,其特征在于:所述進氣口法蘭(2)和出氣口法蘭(3)的數量分別為四個和一個。
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