[發明專利]一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置

在審

• 申請號: 201810792629.2
• 申請日: 2018-07-18
• 公開（公告）號: CN108619833A
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 楊春水;司馬超;張坤;曹小康;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩
• 申請（專利權）人: 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B01D53/18
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138
• 代理人: 鄭直

本發明公開了一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置，涉及半導體制造過程中制成工藝氣體處理設備的技術領域，包括水洗腔體、進氣口法蘭、出氣口法蘭和出水口法蘭，進氣口法蘭和出氣口法蘭豎直焊接在水洗腔體的頂部左側和右側，出水口法蘭豎直焊接在水洗腔體的底部，水洗腔體的下方設有廢水箱，廢水箱的頂部設有進水口法蘭，出水口法蘭通過連接管和廢水箱的進水口法蘭連接，水洗腔體的左側上部和下部分別水平焊接有噴水口法蘭一和噴水口法蘭二，水洗腔體的右側下部水平焊接有噴水口法蘭三，噴水口法蘭內設有噴頭。廢氣中含有的粉塵經過前端水洗噴淋裝置后，粉塵與水結合掉落到裝置底部并順著水流沖洗到廢水箱中。

技術領域

本發明涉及半導體制造過程中制成工藝氣體處理設備的技術領域，具體涉及一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置。

背景技術

在半導體制造過程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟氣體等有害廢氣外排，也有大量的粉塵伴隨廢氣排放到環境中，造成環境空氣污染。應用在半導體行業的傳統廢氣處理設備在長時間運行中會因為廢氣中含有的粉塵導致廢氣處理設備反應腔堵塞，縮短設備的維護周期，影響工廠的產能，同時，在長時間運行中會因為廢氣中的酸性氣體加速腐蝕設備的金屬管路及連接廠務排風的金屬管路，造成氣體泄漏，導致安全事件發生。

中國專利申請號為CN104258664A公開了一種粉塵廢氣處理裝置，主要由支撐座、下機殼、上機殼、底座組成，支撐座設在底座上，下機殼、上機殼均為半圓形腔體并通過焊接構成機殼，支撐座上設的電動機與傳動軸連接，傳動軸穿過機殼中心并通過固定座設在支撐座上，機殼內設有旋轉輪和固定環，旋轉輪通過傳動裝置與傳動軸連接，固定環設置在機殼上，旋轉輪與固定環徑向上交錯設置，旋轉輪、固定環的軸向桿上分別設有旋轉葉片、固定葉片，機殼上設的溶劑噴頭在徑向上的位置與旋轉葉片對應。

中國專利申請號為CN107758375A公開了一種粉塵處理設備，包括機架，機架上設有儲料筒和收集筒，儲料筒上連通有出料管，出料管外側設有轉軸，轉軸固定連接有軟軸，軟軸一端伸進出料管中；收集筒內設有疏通開關和葉輪；機架上還固設有環形槽和內齒圈，內齒圈的齒形為錐形，內齒圈的齒輪孔內設有錐齒輪，錐齒輪轉動連接在機架上，內齒圈與錐齒輪之間設有齒輪軸，齒輪軸下端固定連接有壓緊桿；環形槽內設有發條，發條內端與錐齒輪上端面偏心處固定連接，且發條內端固定連有第一磁鐵，環形槽內壁上固設有第二磁鐵，轉軸外圓上固定連接有連桿，連桿與發條外端固定連接。

通過對上述對比文件仔細分析后發現：對比文件1中所涉及的技術方案結構上過于復雜，維護成本較高，同時，裝置占用的空間也較大；對比文件2中所涉及的技術方案只能實現對廢氣中粉塵進行處理，而對廢氣中的酸性氣體無法去除，因此，對應用于半導體制造過程中制成工藝氣體處理設備需要重新進行更加合理的設計。

發明內容

本發明的目的在于提供一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置，以解決現有技術中導致的上述多項缺陷。

一種適用于酸性氣體、粉塵環境的前端水洗噴淋裝置，包括水洗腔體和安裝在水洗腔體上的進氣口法蘭、出氣口法蘭和出水口法蘭，所述進氣口法蘭和出氣口法蘭分別豎直焊接在水洗腔體頂部左側和右側，所述出水口法蘭豎直焊接在水洗腔體的底部，所述水洗腔體的下方設有廢水箱，所述廢水箱的頂部焊接有進水口法蘭，所述出水口法蘭通過連接管和廢水箱的進水口法蘭連接，所述水洗腔體的左側上部和下部分別水平焊接有噴水口法蘭一和噴水口法蘭二，所述水洗腔體的右側下部水平焊接有噴水口法蘭三，所述噴水口法蘭一、噴水口法蘭二和噴水口法蘭三內設有噴頭。

優選的，所述水洗腔體的內部中間豎直安裝有擋板，所述擋板和水洗腔體的頂部連接并將水洗腔體的內部分隔成左、右兩個腔室。

優選的，所述水洗腔體的前側在每個噴頭安裝處對應設有矩形的觀察口，所述觀察口的內側均布焊接有壓鉚螺母，所述觀察處的外側通過鎖緊螺釘安裝有透明面板，所述透明面板和水洗腔體之間加裝有密封墊，所述密封墊的材質為含有玻璃纖維的聚四氟乙烯復合材料。