[發明專利]一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置在審
| 申請號: | 201810791817.3 | 申請日: | 2018-07-18 |
| 公開(公告)號: | CN108619877A | 公開(公告)日: | 2018-10-09 |
| 發明(設計)人: | 楊春水;司馬超;張坤;曹小康;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩 | 申請(專利權)人: | 安徽京儀自動化裝備技術有限公司 |
| 主分類號: | B01D53/75 | 分類號: | B01D53/75;B01D53/86;B01D47/06;B01D53/44 |
| 代理公司: | 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138 | 代理人: | 鄭直 |
| 地址: | 241000 安徽省蕪湖*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 水洗裝置 反應腔 冷卻塔 水洗噴淋 酸性氣體 廢水箱 粉塵環境 連接管道 廢氣 半導體制造過程 處理設備 工藝氣體 冷卻降溫 連接軟管 排放標準 水流沖洗 出氣端 出氣口 進氣端 有機物 掉落 排出 粉塵 | ||
1.一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:包括前端水洗裝置(1)、第一反應腔(2)、第二反應腔(3)、后端水洗裝置(4)、冷卻塔(5)和廢水箱(11),所述前端水洗裝置(1)包括前端水洗腔體(101)和安裝在前端水洗腔體(101)上的進氣法蘭(102)、出氣法蘭(103)和出水法蘭一(104),所述進氣法蘭(102)和出氣法蘭(103)分別豎直焊接在前端水洗腔體(101)的頂部左側和右側,所述出水法蘭一(104)豎直焊接在前端水洗腔體(101)的底部并通過連接軟管一(9)和廢水箱(11)連接,所述前端水洗腔體(101)的左側上部和下部分別水平焊接有噴頭法蘭一(106)和噴頭法蘭二(107),所述前端水洗腔體(101)的右側下部水平焊接有噴頭法蘭三(108),所述噴頭法蘭一(106)、噴頭法蘭二(107)和噴頭法蘭三(108)內均設有噴頭一(105);
所述第一反應腔(2)包括反應腔一(21)和主進氣法蘭一(22),所述主進氣法蘭一(22)設于反應腔一(21)的頂部中間,所述出氣法蘭一(103)通過連接管道一(6)和主進氣法蘭一(22)連接并且連接管道一(6)上設有控制閥(7),所述反應腔一(21)的底部設有出氣法蘭二(25),所述第二反應腔(3)包括反應腔二(31)和主進氣法蘭二(32),所述主進氣法蘭二(32)設于反應腔二(31)的頂部中間,所述出氣法蘭二(25)和主進氣法蘭二(32)通過連接管道二(8)連接在一起,所述反應腔二(31)的底部和后端水洗裝置(4)連接,所述后端水洗裝置(4)包括后端水洗腔體(41)和設于水洗腔體(41)內的噴頭二(42),所述噴頭二(42)對稱設于后端水洗腔體(41)的左右兩側,所述后端水洗腔體(41)的頂部左邊設有進氣端,頂部右邊設有出氣端,后端水洗腔體(41)的進氣端和反應腔二(31)的底部直接連接,后端水洗腔體(41)的出氣端和冷卻塔(5)的底部直接連接,所述后端水洗腔體(41)的底部設有出水法蘭二(43)并通過連接軟管二(10)和廢水箱(11)連接,所述冷卻塔(5)內部均布設有冷卻板(51),所述冷卻板(51)的材質為多孔的氧化鋁陶瓷,所述冷卻塔(5)內部的中間和上部分別設有噴頭三(52)和噴頭四(53),所述冷卻塔(7)的頂部水平設有出氣口(55)。
2.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:所述前端水洗腔體(101)的內部中間豎直安裝有擋板(113),所述擋板(113)和前端水洗腔體(101)的頂部連接并將前端水洗腔體(101)的內部分隔成左、右兩個腔室。
3.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:所述前端水洗腔體(101)的前側在每個噴頭一(105)安裝處對應設有矩形的觀察口,所述觀察口的內側均布焊接有壓鉚螺母(112),所述觀察處的外側通過鎖緊螺釘(109)安裝有透明面板(111),所述透明面板(111)和前端水洗腔體(101)之間加裝有密封墊(110),所述密封墊(110)的材質為含有玻璃纖維的聚四氟乙烯復合材料。
4.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:所述前端水洗腔體(101)的內部的下方設有過濾板(114),所述過濾板(114)的下方設有支撐板(115)并焊接在前端水洗腔體(101)的內壁上,所述過濾板(114)通過支撐板(115)水平安裝在前端水洗腔體(101)內。
5.根據權利要求3或4所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:所述前端水洗腔體(101)的左側下部也設有矩形的觀察口,所述觀察口的底部和支撐板(115)處于相同的水平高度。
6.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:所述前端水洗腔體(101)的內部及內部的支撐板(115)和壓鉚螺母(112)做聚四氟乙烯涂層覆蓋處理。
7.根據權利要求1所述的一種適用于酸性氣體、粉塵環境的水洗噴淋裝置,其特征在于:所述進氣法蘭(102)和出氣法蘭一(103)的數量分別為四個和一個。
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