[發(fā)明專利]一種聲表面波的諧振器及其制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810779027.3
• 申請(qǐng)日: 2018-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN108988814A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪繁榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H03H3/08
• 分類號(hào): H03H3/08;H03H9/02;H03H9/25
• 代理公司: 武漢帥丞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42220
• 代理人: 劉丹

本發(fā)明公開了一種聲表面波的諧振器，包括基板，所述基板的上端設(shè)置有叉指換能器和反射器，所述反射器位于叉指換能器的兩側(cè)，所述基板包括固定板和安裝板，所述安裝板位于固定板的上端，且叉指換能器和反射器位于安裝板的上端，本方明制備方法簡單，通過激光刻蝕機(jī)對(duì)薄膜層進(jìn)行刻蝕處理，此時(shí)模具能夠?qū)⒛＞呦路降谋∧颖Ｗo(hù)住，激光刻蝕機(jī)能夠?qū)⒛＞咄鈧?cè)的薄膜層燒穿，得到叉指換能器和反射器，操作過程方便簡單。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及諧振器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種聲表面波的諧振器及其制作方法。

背景技術(shù)

聲表面波（Surface Acoustic Wave，SAW）是傳播于壓電基片材料表面的機(jī)械波，其聲速僅為電磁波速的十萬分之一，其振幅隨深入基片本材料的深度增加而迅速減少。聲表面波最主要的特點(diǎn)就是能量能夠集中于表層，使得聲表面波組件可以很容易地運(yùn)用其所攜帶的能量。基于聲表面波對(duì)某些物理、化學(xué)、生物量的敏感特性，許多各具特色的聲表面波器件被開發(fā)出來。聲表面波諧振器（Surface Acoustic Wave Resonators）是一種晶體諧振器，是用電損耗很小的石英晶體經(jīng)精密切割磨削并鍍上電極焊上引線做成。這種晶體有一個(gè)很重要的特性，如果給它通電，它就會(huì)產(chǎn)生機(jī)械振蕩，反之，如果給它機(jī)械力，它又會(huì)產(chǎn)生電，這種特性叫機(jī)電效應(yīng)。他們有一個(gè)很重要的特點(diǎn)，其振蕩頻率與他們的形狀，材料，切割方向等密切相關(guān)。叉指換能器是聲表面波諧振器中的重要部件，現(xiàn)有的聲表面波諧振器在制作叉指換能器時(shí)比較麻煩，一般是采用化學(xué)刻蝕的方法制作而成，對(duì)工藝的要求比較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在制作叉指換能器時(shí)比較麻煩的問題，而提出的一種聲表面波的諧振器及其制作方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種聲表面波的諧振器，包括基板，所述基板的上端設(shè)置有叉指換能器和反射器，所述反射器位于叉指換能器的兩側(cè)，所述基板包括固定板和安裝板，所述安裝板位于固定板的上端，且叉指換能器和反射器位于安裝板的上端。

優(yōu)選的，所述叉指換能器和反射器的材料為石墨烯。

優(yōu)選的，所述固定板的材料包括碳化硅、氧化硅的一種或兩種。

優(yōu)選的，所述安裝板的材料包括氮化鋁。

一種聲表面波的諧振器的制作方法，包括以下步驟：

S1、準(zhǔn)備固定板：先利用激光切割器切割出一層固定板；

S2、負(fù)載安裝板：利用沉積的方法在固定板上端負(fù)載一層安裝板，得到基板1；

S3、安裝板預(yù)處理：在安裝板的上端涂抹一層膠黏劑，膠黏劑用于粘結(jié)石墨烯；

S4、制備薄膜層：向安裝板上端噴涂石墨烯粉末，此時(shí)石墨烯粉末通過膠黏劑被吸附在安裝板的上方，石墨烯粉末形成薄膜層；

S5、模具的準(zhǔn)備：按照叉指換能器和反射器的外形準(zhǔn)備模具，使得模具正好能夠覆蓋住叉指換能器和反射器；

S6、制作叉指換能器和反射器：利用激光刻蝕機(jī)對(duì)薄膜層進(jìn)行刻蝕處理，激光刻蝕機(jī)能夠?qū)⒛＞咄鈧?cè)的薄膜層燒穿，刻蝕完畢后得到叉指換能器和反射器；

S7：封裝處理：將基板、叉指換能器和反射器安裝引線，進(jìn)行封裝處理，得到一種聲表面波的諧振器。

優(yōu)選的，所述膠黏劑為磷酸-氧化銅膠黏劑，膠黏劑的厚度為0.5μm-1μm。

優(yōu)選的，所述薄膜層的厚度為0.1μm-1μm。

優(yōu)選的，所述S2中，負(fù)載完畢后對(duì)基板進(jìn)行拋光處理。

本發(fā)明的有益效果是：