[發明專利]一種聲表面波的諧振器及其制作方法

在審

• 申請號: 201810779027.3
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN108988814A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 汪繁榮
• 申請（專利權）人: 湖北工業大學
• 主分類號: H03H3/08
• 分類號: H03H3/08;H03H9/02;H03H9/25
• 代理公司: 武漢帥丞知識產權代理有限公司 42220
• 代理人: 劉丹

1.一種聲表面波的諧振器，包括基板（1）,其特征在于，所述基板（1）的上端設置有叉指換能器（3）和反射器（4），所述反射器（4）位于叉指換能器（3）的兩側，所述基板（1）包括固定板和安裝板，所述安裝板位于固定板的上端，且叉指換能器（3）和反射器（4）位于安裝板的上端。

2.根據權利要求1所述的一種聲表面波的諧振器，其特征在于，所述叉指換能器（3）和反射器（4）的材料為石墨烯。

3.根據權利要求1所述的一種聲表面波的諧振器，其特征在于，所述固定板的材料包括碳化硅、氧化硅的一種或兩種。

4.根據權利要求1所述的一種聲表面波的諧振器，其特征在于，所述安裝板的材料包括氮化鋁。

5.一種聲表面波的諧振器的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、準備固定板：先利用激光切割器切割出一層固定板；

S2、負載安裝板：利用沉積的方法在固定板上端負載一層安裝板，得到基板（1）；

S3、安裝板預處理：在安裝板的上端涂抹一層膠黏劑，膠黏劑用于粘結石墨烯；

S4、制備薄膜層（2）：向安裝板上端噴涂石墨烯粉末，此時石墨烯粉末通過膠黏劑被吸附在安裝板的上方，石墨烯粉末形成薄膜層（2）；

S5、模具的準備：按照叉指換能器（3）和反射器（4）的外形準備模具，使得模具正好能夠覆蓋住叉指換能器（3）和反射器（4）；

S6、制作叉指換能器（3）和反射器（4）：利用激光刻蝕機對薄膜層（2）進行刻蝕處理，激光刻蝕機能夠將模具外側的薄膜層（2）燒穿，刻蝕完畢后得到叉指換能器（3）和反射器（4）；

S7：封裝處理：將基板（1）、叉指換能器（3）和反射器（4）安裝引線，進行封裝處理，得到一種聲表面波的諧振器。

6.根據權利要求5所述的一種聲表面波的諧振器的制作方法，其特征在于，所述膠黏劑為磷酸-氧化銅膠黏劑，膠黏劑的厚度為0.5μm-1μm。

7.根據權利要求5所述的一種聲表面波的諧振器的制作方法，其特征在于，所述薄膜層（2）的厚度為0.1μm-1μm。

8.根據權利要求5所述的一種聲表面波的諧振器的制作方法，其特征在于，所述S2中，負載完畢后對基板（1）進行拋光處理。