[發(fā)明專利]圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810768676.3
• 申請(qǐng)日: 2018-07-13
• 公開（公告）號(hào): CN109256480A
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金東鉉;金義秀;李鉉海;李俊英;尹健尚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 康寧精密材料有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L51/52
• 分類號(hào): H01L51/52
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;吳啟超

一種圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法，以及一種制造OLED裝置的光提取基底的方法。在基底的第一表面上形成其中具有多個(gè)空隙的第一層或散射層。在所述第一層或所述散射層上形成第二層或平面化層，使得所述第一層或所述散射層的第一區(qū)域的表面暴露，其中所述第二層或所述平面化層的材料的一部分滲透到所述多個(gè)空隙中以附接到所述基底的所述第一表面的至少一部分。移除所述第一層或所述散射層的所述第一區(qū)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)要求2017年7月14日提交的韓國專利申請(qǐng)序列號(hào)10-2017-0089630的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，所述申請(qǐng)的內(nèi)容是本文的依托并且以全文引用的方式并入本文。

本公開涉及一種圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法，并且更具體地，涉及一種通過在第一層上形成第二層，使得所述第一層的一部分區(qū)域暴露，然后移除所述第一層的所述部分區(qū)域來圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法。

背景技術(shù)

在基底上形成的多層結(jié)構(gòu)被制造并在多種技術(shù)領(lǐng)域中用作中間產(chǎn)品或最終產(chǎn)品。例如，多層結(jié)構(gòu)可制造為例如制作顯示裝置、半導(dǎo)體裝置和照明裝置的過程中的中間產(chǎn)品。此類多層結(jié)構(gòu)的層需要圖案化成具有預(yù)定的大小以及準(zhǔn)確定位的形狀。

就這一點(diǎn)而言，第一，可考慮從一開始便形成多層結(jié)構(gòu)的具有預(yù)定的大小和準(zhǔn)確定位的形狀的層。但是，這需要多層結(jié)構(gòu)的層被準(zhǔn)確對(duì)齊。因此，這可能增加工藝難度并且需要昂貴的對(duì)齊設(shè)備，從而增加加工成本。

作為第二選項(xiàng)，可考慮形成多層結(jié)構(gòu)的層，然后移除多層結(jié)構(gòu)的層的一部分以得到預(yù)定的大小和準(zhǔn)確定位的形狀。但是，這種方法還伴隨有一些問題，諸如最終產(chǎn)生的多層結(jié)構(gòu)邊緣的品質(zhì)低和由殘余粒子所致的表面污染。因此，需要一種新穎的能夠克服這些困難的方法。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的各種方面提供一種克服現(xiàn)有問題的圖案化多層結(jié)構(gòu)的改良方法，所述問題諸如所得多層結(jié)構(gòu)邊緣的品質(zhì)低和由殘余粒子所致的表面污染。

根據(jù)一個(gè)方面，圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法可包括：在基底的第一表面上由第一層材料形成第一層，使得所述第一層中形成多個(gè)空隙；在所述第一層上由第二層材料形成第二層，使得所述第一層的第一區(qū)域的表面暴露，其中一部分所述第二層材料滲透到所述第一層的所述多個(gè)空隙中以附接到所述基底的所述第一表面至少一部分；以及移除所述第一層的所述第一區(qū)域。

根據(jù)一個(gè)方面，制造有機(jī)發(fā)光二極管裝置的光提取基底的方法可包括：在基底的第一表面上由散射層材料形成散射層，使得所述光散射層中形成多個(gè)空隙；在所述散射層上由平面化層材料形成平面化層，使得所述散射層的第一區(qū)域的表面暴露，其中一部分所述平面化層材料滲透到所述散射層的所述多個(gè)空隙中以附接到所述基底的所述第一表面的至少一部分；以及移除所述散射層的所述第一區(qū)域。

附圖說明

圖1是示出根據(jù)示例性實(shí)施方案來圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法的流程圖；

圖2是示出圖1所示的根據(jù)一些示例性實(shí)施方案來圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法的剖視圖；

圖3是示出多層結(jié)構(gòu)的平面圖，所述多層結(jié)構(gòu)是通過圖1所示的根據(jù)一些示例性實(shí)施方案來圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法來圖案化；

圖4是示出圖1所示的根據(jù)一些示例性實(shí)施方案來圖案化多層結(jié)構(gòu)的方法的平面圖；

圖5是示出根據(jù)比較實(shí)施例來制造OLED裝置的方法的剖視圖；

圖6是通過圖5所示的制造OLED裝置的方法所制造的OLED裝置的發(fā)光圖像；

圖7是示出根據(jù)示例性實(shí)施方案制造OLED裝置的方法的剖視圖；

圖8是通過圖7所示的制造OLED裝置的方法所制造的OLED裝置的發(fā)光圖像；

圖9是用于形成根據(jù)示例性實(shí)施方案的光提取基底的散射層的第一分散液的電子顯微鏡圖像；