[發(fā)明專利]可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810766978.7 | 申請(qǐng)日: | 2018-07-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110718490B | 公開(公告)日: | 2022-05-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 桂義勇;曹杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州永測電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677 |
| 代理公司: | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 自動(dòng) 上下 芯片 燒錄機(jī) | ||
本發(fā)明公開一種可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī),包括基板、X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、吸料機(jī)構(gòu)和燒錄機(jī)構(gòu),所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于基板上表面,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過若干XY連接塊與Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝連接并可以在Y軸方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng),還具有一限位支架,所述限位支架固定安裝于安裝板前側(cè)面下部,所述若干吸桿分別穿過此限位支架,所述吸桿與限位支架的上板之間通過一主動(dòng)花鍵連接,所述吸桿與轉(zhuǎn)角安裝板的安裝部之間通過一從動(dòng)花鍵連接,所述主動(dòng)花鍵與從動(dòng)花鍵均包括圓柱外殼和至少2排豎直設(shè)置于圓柱外殼內(nèi)壁的滾珠。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了芯片燒錄過程中的芯片上料、燒錄、下料的全過程自動(dòng)化操作,且精度高、可循環(huán)作業(yè),提高了芯片燒錄的精度、效率和自動(dòng)化程度。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及芯片燒錄技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī)。
背景技術(shù)
芯片是目前電子行業(yè)中比較常用的電子元件,其有多個(gè)制作流程。燒錄是制造芯片制造中的其中一個(gè)工序,燒錄時(shí)需要把控?zé)浀狞c(diǎn)位,因此,芯片燒錄這一工序中,對(duì)芯片安放的位置精度有很高的要求?,F(xiàn)有的芯片燒錄有通過人工完成的,也有通過燒錄裝置完成,但是現(xiàn)在的芯片燒錄裝置的結(jié)構(gòu)都比較復(fù)雜以及工序較多,仍然需要更多的人手去參與,工作效率較低。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī),該可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī)實(shí)現(xiàn)了芯片燒錄過程中的芯片上料、燒錄、下料的全過程自動(dòng)化操作,且精度高、可循環(huán)作業(yè),提高了芯片燒錄的精度、效率和自動(dòng)化程度。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī),包括基板、X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、吸料機(jī)構(gòu)和燒錄機(jī)構(gòu),所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于基板上表面,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過若干第一連接塊與Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝連接并可以在Y軸方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng),所述吸料機(jī)構(gòu)通過第二連接塊活動(dòng)安裝于X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上并可以沿X軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng),所述燒錄機(jī)構(gòu)安裝于基板上并位于吸料機(jī)構(gòu)下方;
所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括Y軸電機(jī)、與Y軸電機(jī)連接的Y軸絲桿、至少一個(gè)Y軸滑軌和活動(dòng)安裝于Y軸滑軌上的若干Y軸滑塊,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過若干第一連接塊與Y軸滑塊固定連接,所述Y軸絲桿上套裝有一Y軸螺母,此Y軸螺母通過一Y軸鎖塊與X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定連接;
所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括X軸電機(jī)、與X軸電機(jī)連接的X軸絲桿、X軸安裝板、若干X軸滑軌和活動(dòng)安裝于X軸滑軌上的若干X軸滑塊,此X軸滑塊與第二連接塊安裝連接,所述X軸絲桿通過至少兩個(gè)X軸承座安裝于X軸安裝板上并與X軸滑軌平行設(shè)置,所述X軸絲桿上套裝有X軸螺母,此X軸螺母通過一X軸鎖塊與第二連接塊安裝連接;
所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的Y軸絲桿兩端分別設(shè)置有一第一傳感器,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X軸安裝板下表面設(shè)置有與第一傳感器對(duì)應(yīng)的第一擋片,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X軸安裝板兩端分別安裝有一第二傳感器,所述吸料機(jī)構(gòu)下表面設(shè)置有與第二傳感器對(duì)應(yīng)的第二擋片;
所述吸料機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括與第二連接塊安裝固定的安裝板、若干第一電機(jī)和若干吸桿,所述若干第一電機(jī)分別安裝于一電機(jī)固定板上,此電機(jī)固定板安裝于安裝板后表面上部,所述第一電機(jī)的輸出軸分別穿過電機(jī)固定板且第一電機(jī)的輸出軸末端分別安裝有第一驅(qū)動(dòng)輪,此第一驅(qū)動(dòng)輪下方分別安裝有一第一從動(dòng)輪,所述第一驅(qū)動(dòng)輪與第一從動(dòng)輪之間連接有第一皮帶,所述若干吸桿分別通過一轉(zhuǎn)角安裝板與第一皮帶安裝固定;
所述轉(zhuǎn)角安裝板進(jìn)一步包括兩兩垂直設(shè)置的鎖接部、連接部和安裝部,所述連接部的一側(cè)與鎖接部連接,所述連接部的下部與安裝部連接,所述鎖接部穿過安裝板并與第一皮帶的一側(cè)表面接觸,并與設(shè)置于第一皮帶另一側(cè)的齒形塊鎖緊固定,所述安裝板前表面安裝有與轉(zhuǎn)角安裝板對(duì)應(yīng)的滑軌,所述連接部與安裝板平行設(shè)置且連接部靠近安裝板的一側(cè)表面開有供滑軌嵌入的滑槽,所述安裝部上開有一通孔,所述吸桿穿過通孔并與安裝部安裝連接;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





