[發(fā)明專利]可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810766978.7 | 申請(qǐng)日: | 2018-07-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110718490B | 公開(公告)日: | 2022-05-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 桂義勇;曹杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州永測(cè)電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677 |
| 代理公司: | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 自動(dòng) 上下 芯片 燒錄機(jī) | ||
1.一種可自動(dòng)上下料的芯片燒錄機(jī),其特征在于:包括基板(1)、X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)、Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)、吸料機(jī)構(gòu)(4)和燒錄機(jī)構(gòu)(5),所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)設(shè)置于基板(1)上表面,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)通過若干第一連接塊(9)與Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)安裝連接并可以在Y軸方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng),所述吸料機(jī)構(gòu)(4)通過第二連接塊(10)活動(dòng)安裝于X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)上并可以沿X軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng),所述燒錄機(jī)構(gòu)(5)安裝于基板(1)上并位于吸料機(jī)構(gòu)(4)下方;
所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)進(jìn)一步包括Y軸電機(jī)(301)、與Y軸電機(jī)(301)連接的Y軸絲桿(302)、至少一個(gè)Y軸滑軌(303)和活動(dòng)安裝于Y軸滑軌(303)上的若干Y軸滑塊(304),所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)通過若干第一連接塊(9)與Y軸滑塊(304)固定連接,所述Y軸絲桿(302)上套裝有一Y軸螺母(305),此Y軸螺母(305)通過一Y軸鎖塊(306)與X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)固定連接;
所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)進(jìn)一步包括X軸電機(jī)(201)、與X軸電機(jī)(201)連接的X軸絲桿(202)、X軸安裝板(205)、若干X軸滑軌(203)和活動(dòng)安裝于X軸滑軌(203)上的若干X軸滑塊(204),此X軸滑塊(204)與第二連接塊(10)安裝連接,所述X軸絲桿(202)通過至少兩個(gè)X軸承座(206)安裝于X軸安裝板(205)上并與X軸滑軌(203)平行設(shè)置,所述X軸絲桿(202)上套裝有X軸螺母(207),此X軸螺母(207)通過一X軸鎖塊(208)與第二連接塊(10)安裝連接;
所述Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)的Y軸絲桿(302)兩端分別設(shè)置有一第一傳感器(11),所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)的X軸安裝板(205)下表面設(shè)置有與第一傳感器(11)對(duì)應(yīng)的第一擋片,所述X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)的X軸安裝板(205)兩端分別安裝有一第二傳感器(13),所述吸料機(jī)構(gòu)(4)下表面設(shè)置有與第二傳感器(13)對(duì)應(yīng)的第二擋片;
所述吸料機(jī)構(gòu)(4)進(jìn)一步包括與第二連接塊(10)安裝固定的安裝板(401)、若干第一電機(jī)(402)和若干吸桿(403),所述若干第一電機(jī)(402)分別安裝于一電機(jī)固定板(404)上,此電機(jī)固定板(404)安裝于安裝板(401)后表面上部,所述第一電機(jī)(402)的輸出軸分別穿過電機(jī)固定板(404)且第一電機(jī)(402)的輸出軸末端分別安裝有第一驅(qū)動(dòng)輪(405),此第一驅(qū)動(dòng)輪(405)下方分別安裝有一第一從動(dòng)輪(406),所述第一驅(qū)動(dòng)輪(405)與第一從動(dòng)輪(406)之間連接有第一皮帶(407),所述若干吸桿(403)分別通過一轉(zhuǎn)角安裝板(408)與第一皮帶(407)安裝固定;
所述轉(zhuǎn)角安裝板(408)進(jìn)一步包括兩兩垂直設(shè)置的鎖接部(409)、連接部(410)和安裝部(411),所述連接部(410)的一側(cè)與鎖接部(409)連接,所述連接部(410)的下部與安裝部(411)連接,所述鎖接部(409)穿過安裝板(401)并與第一皮帶(407)的一側(cè)表面接觸,并與設(shè)置于第一皮帶(407)另一側(cè)的齒形塊(412)鎖緊固定,所述安裝板(401)前表面安裝有與轉(zhuǎn)角安裝板(408)對(duì)應(yīng)的滑軌(413),所述連接部(410)與安裝板(401)平行設(shè)置且連接部(410)靠近安裝板(401)的一側(cè)表面開有供滑軌(413)嵌入的滑槽,所述安裝部(411)上開有一通孔(414),所述吸桿(403)穿過通孔(414)并與安裝部(411)安裝連接;
所述安裝板(401)下部安裝有一電機(jī)支架(415),此電機(jī)支架(415)上設(shè)置有若干與吸桿(403)對(duì)應(yīng)的第二電機(jī)(416),此第二電機(jī)(416)的旋轉(zhuǎn)軸上分別連接有一第二驅(qū)動(dòng)輪(417),所述吸桿(403)下部套裝有與第二驅(qū)動(dòng)輪(417)對(duì)應(yīng)的第二從動(dòng)輪(418),所述第二驅(qū)動(dòng)輪(417)和第二從動(dòng)輪(418)通過一第二皮帶(419)傳動(dòng)連接;
還具有一限位支架(420),所述限位支架(420)固定安裝于安裝板(401)前側(cè)面下部,所述若干吸桿(403)分別穿過此限位支架(420),所述吸桿(403)與限位支架(420)的上板之間通過一主動(dòng)花鍵(421)連接,所述吸桿(403)與轉(zhuǎn)角安裝板(408)的安裝部(411)之間通過一從動(dòng)花鍵(422)連接,所述主動(dòng)花鍵(421)與從動(dòng)花鍵(422)均包括圓柱外殼(15)和至少2排豎直設(shè)置于圓柱外殼(15)內(nèi)壁的滾珠(16),所述吸桿(403)上開有供滾珠(16)嵌入的凹槽,所述滾珠(16)一面嵌入圓柱外殼(15)內(nèi)壁,另一面嵌入吸桿(403)的凹槽內(nèi);
所述燒錄機(jī)構(gòu)(5)進(jìn)一步包括支撐板(501)、底板(502)、若干壓板(503)、若干燒錄座(504)和若干與壓板(503)對(duì)應(yīng)的氣缸(505),所述支撐板(501)安裝于基板(1)上,所述底板(502)位于基板(1)下方,所述支撐板(501)與底板(502)之間通過至少2根支撐柱(506)連接,所述壓板(503)位于燒錄座(504)上方;
所述氣缸(505)設(shè)置于底板(502)上表面,所述氣缸(505)的活塞桿上分別連接有一活動(dòng)板(509),此活動(dòng)板(509)的四個(gè)拐角處分別設(shè)置有一拉桿(507),所述支撐板(501)下方設(shè)置有若干軸承座(508),所述拉桿(507)上端分別穿過軸承座(508)和支撐板(501)并與壓板(503)固定連接;
還具有一校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)(6),此校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)(6)進(jìn)一步包括上相機(jī)(601)和下相機(jī)(602),所述上相機(jī)(601)安裝于吸料機(jī)構(gòu)(4)上,所述下相機(jī)(602)安裝于基板(1)上并與上相機(jī)(601)面對(duì)面設(shè)置。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





