[發(fā)明專利]用于原位制備顯微鏡樣本的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810762251.1
• 申請(qǐng)日: 2018-07-12
• 公開（公告）號(hào): CN109256312B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A.施蒙茲;H.多默
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20;G01N1/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 侯宇;孟婧

1.一種用于原位制備顯微鏡樣本的方法，所述方法借助粒子束設(shè)備實(shí)施，所述粒子束設(shè)備包括：

-用于產(chǎn)生聚焦的帶電粒子束的粒子束柱；

-用于承接樣本塊的樣本支座；

-用于探測(cè)粒子束與樣本材料之間相互作用的相互作用產(chǎn)物的探測(cè)器，

其中，所述方法包括步驟：

a)提供樣本塊，所述樣本塊具有裸露的并且包括感興趣的樣本區(qū)域(ROI)的結(jié)構(gòu)；

b)通過粒子束的作用在裸露結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生彎折棱邊，從而使裸露結(jié)構(gòu)的至少一部分朝向入射的粒子束變形；

c)移動(dòng)承接樣本塊的樣本支座，使得包括在變形結(jié)構(gòu)中的樣本區(qū)域能夠在粒子束設(shè)備中被觀察和/或被加工。

2.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法包含附加的步驟：

借助粒子束設(shè)備觀察和/或加工感興趣的樣本區(qū)域(ROI)。

3.按權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，產(chǎn)生彎折棱邊包括：

預(yù)設(shè)裸露結(jié)構(gòu)的變形的期望程度并且產(chǎn)生期望的變形。

4.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，重復(fù)地產(chǎn)生彎折棱邊，從而使顯微鏡樣本具有多個(gè)彎折棱邊。

5.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述方法具有步驟：

通過施加沉淀物使彎折棱邊的形狀穩(wěn)定。

6.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，粒子束設(shè)備包括用于產(chǎn)生聚焦的離子束的離子束柱。

7.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，粒子束設(shè)備設(shè)計(jì)為多束設(shè)備，所述多束設(shè)備包括用于產(chǎn)生聚焦的離子束的離子束柱和用于產(chǎn)生聚焦的電子束的電子束柱。

8.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，粒子束設(shè)備包括用于產(chǎn)生聚焦的電子束的電子束柱以及用于導(dǎo)入腐蝕氣體的氣體注射系統(tǒng)，其中通過電子束和腐蝕氣體的作用產(chǎn)生彎折棱邊。

9.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，提供裸露結(jié)構(gòu)包括涂層的沉積。

10.按權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述涂層具有鉑。

11.按權(quán)利要求10所述的方法，其中，通過腐蝕使裸露結(jié)構(gòu)從樣本塊中暴露出來。

12.按權(quán)利要求11所述的方法，其中，為了進(jìn)行腐蝕，輸入XeF₂前體物。

13.按權(quán)利要求10至12之一所述的方法，其中，

提供樣本塊，其中，所述感興趣的樣本區(qū)域具有顆粒，所述顆粒處于樣本塊的表面上；并且所述顆粒通過施加沉積物嵌入沉積材料中；并且將沉積物鉆蝕，從而使具有顆粒的沉積物形成裸露結(jié)構(gòu)；

并且其中，在沉積物中產(chǎn)生彎折棱邊。

14.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，顯微鏡樣本是TEM薄片。

15.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，顯微鏡樣本是斷層攝影樣本。

16.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述裸露結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為電子構(gòu)件的印制導(dǎo)線。

17.按權(quán)利要求1所述的方法，其中，粒子束設(shè)備包括電子束柱和STEM探測(cè)器并且感興趣的樣本區(qū)域?qū)τ陔娮邮峭该鞯模?/p>

并且其中，所述方法具有以下步驟，即，通過來自電子束柱的電子透射感興趣的樣本區(qū)域，其中，由此產(chǎn)生的相互作用產(chǎn)物通過STEM探測(cè)器探測(cè)。