[發(fā)明專利]一種W靶材的修復(fù)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810761747.7
• 申請(qǐng)日: 2018-07-12
• 公開（公告）號(hào): CN108817405B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張久興;高思遠(yuǎn);趙晶晶;潘亞飛;楊新宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B22F7/06
• 分類號(hào): B22F7/06;B22F3/105;C23C14/34
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責(zé)任公司 34101
• 代理人: 盧敏

1.一種W靶材的修復(fù)方法，其特征在于：將待修復(fù)的W靶材放入石墨模具中，然后加入修復(fù)所需的W粉，使W粉位于W靶材的待修復(fù)表面上，預(yù)壓后，再放入放電等離子燒結(jié)系統(tǒng)中進(jìn)行燒結(jié)連接，使W粉填充在W靶材待修復(fù)表面的不平整缺陷區(qū)域，即完成W靶材的修復(fù)；所修復(fù)的W靶材直徑大于20mm、長(zhǎng)徑比為0.05～1.0；

具體包括以下步驟：

步驟1、對(duì)待修復(fù)的W靶材的待修復(fù)表面進(jìn)行清理，以去除雜質(zhì)和氧化層，然后利用阿基米德排水法計(jì)算出填補(bǔ)W靶材待修復(fù)表面的不平整缺陷區(qū)域所需W粉的體積；

稱取相應(yīng)體積的氧含量低于500ppm、純度為99.7％、粒徑在2.8～3.2μm之間的W粉備用；

步驟2、將清理后的W靶材放入相對(duì)應(yīng)尺寸的石墨模具中，再加入W粉，并使W粉位于W靶材的待修復(fù)表面上；采用手動(dòng)液壓機(jī)對(duì)裝好W靶材和W粉的石墨模具進(jìn)行預(yù)壓，壓力在8～12MPa；

步驟3、在預(yù)壓后石墨模具外圍裹上與石墨模具等高的4～6mm厚的碳?xì)郑賹⑵渲糜诜烹姷入x子燒結(jié)系統(tǒng)的爐腔中，抽真空至5Pa以下，對(duì)W粉和W靶材進(jìn)行燒結(jié)連接，燒結(jié)工藝為：

軸向機(jī)械壓力采用梯度加壓的方式：當(dāng)溫度＜1500℃時(shí)，軸向壓力為10MPa；當(dāng)溫度≥1500℃時(shí)，軸向壓力為30～40MPa；

升溫速率：在室溫至1300℃區(qū)間為30～60℃/min，1300℃以上為10～30℃/min；

燒結(jié)溫度：1800～2000℃，

保溫時(shí)間：5～10min；

隨爐冷卻后，打磨光滑，即完成W靶材的修復(fù)，獲得修復(fù)后W靶材。