[發明專利]一種P型SE-PERC雙面太陽能電池及其制備方法

在審

• 申請號: 201810761650.6
• 申請日: 2018-07-12
• 公開（公告）號: CN109065658A
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 林綱正;方結彬;何達能;陳剛
• 申請（專利權）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/068
• 分類號: H01L31/068;H01L31/18
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 高文龍

1.一種P型SE-PERC雙面太陽能電池，包括自下而上依次設置的背電極、背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正銀電極，所述的正銀電極由材料為銀的正銀主柵電極和材料為銀的正銀副柵電極組成，正銀副柵電極與正銀主柵電極相垂直，所述的背電極由材料為銀的背銀主柵電極和材料為鋁的背鋁副柵電極組成，背鋁副柵電極和背銀主柵電極相垂直，所述太陽能電池在背面還開設有開通所述背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜后直至P型硅的背面激光開槽區，背面激光開槽區內印刷灌注鋁漿料，形成背鋁條，背鋁副柵電極與背面激光開槽區內的背鋁條一體印刷成型，背鋁副柵電極通過背鋁條與P型硅相連，其特征在于：所述N型硅的正面在進行擴散之后并且在沉積正面氮化硅膜之前通過激光摻雜形成若干條相互平行的激光槽，激光槽采用間距不等的開槽區設計或者寬度不同的開槽區設計，所述激光槽的數量與正銀副柵電極的數量相等，并且一一對應，在刻蝕正面氮化硅膜印刷正銀電極時漿料落在激光槽內，形成所述的正銀副柵電極。

2.如權利要求1所述的P型SE-PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述激光槽采用間距不等的開槽區設計，相鄰激光槽之間的間距自中部向兩側呈由小變大的逐漸增大狀，每條激光槽的寬度均相等。

3.如權利要求2所述的P型SE-PERC雙面太陽能電池，其特征在于：相鄰激光槽之間的間距為0.8～2mm，激光槽的寬度為80～200um。

4.如權利要求1所述的P型SE-PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述激光槽采用寬度不同的開槽區設計，激光槽的寬度自中部向兩側呈由窄變寬的逐漸增寬狀，相鄰激光槽之間的間距均相等。

5.如權利要求4所述的P型SE-PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述激光槽的寬度為80～300um，相鄰激光槽之間的間距為0.8～2mm。

6.如權利要求1至5任一項所述的P型SE-PERC雙面太陽能電池的制備方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

(1)在硅片正面和背面形成絨面，所述硅片為P型硅；

(2)在所述硅片正面進行擴散，形成N型硅，即N型發射極；

(3)對N型硅的正面進行激光摻雜，形成若干條相互平行的激光槽，激光槽采用間距不等的開槽區設計或者寬度不同的開槽區設計，所述激光槽的數量與正銀副柵電極的數量相等，并且一一對應；

(4)去除擴散過程形成的磷硅玻璃和周邊PN結，并對硅片背面進行拋光，形成高反射率的背表面；

(5)在硅片背面沉積背面氧化鋁膜；

(6)在氧化鋁膜的背面沉積背面氮化硅膜；

(7)在N型硅的正面沉積正面氮化硅膜；

(8)對硅片背面進行激光開槽，開通背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜后直至硅片，形成背面激光開槽區；

(9)在所述硅片背面采用絲網印刷來印刷背電極的背銀主柵電極，烘干；

(10)在背面激光開槽區內印刷鋁漿料，形成背鋁條，背鋁條與背鋁副柵電極一體印刷成型，烘干；

(11)在所述正面氮化硅膜的正面采用絲網印刷或噴墨方式刻蝕印刷正銀電極漿料，保證漿料落在激光槽內，形成正銀副柵電極；

(12)對硅片進行高溫燒結，形成背電極和正銀電極；

(13)對硅片進行抗LID退火處理，制得P型SE-PERC雙面太陽能電池。

7.如權利要求6所述的P型SE-PERC雙面太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述步驟(12)中的高溫燒結中的溫度為780℃～820℃。