[發明專利]一種聲表面波器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201810757942.2
• 申請日: 2018-07-11
• 公開（公告）號: CN109004914B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發明（設計）人: 彭波華;胡念楚;賈斌
• 申請（專利權）人: 開元通信技術（廈門）有限公司
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/02;H03H3/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本發明公開了一種聲表面波器件，將叉指換能器母線之間劃分為間隙區域、邊緣區域以及中間區域，從任一母線指向兩條母線之間的方向依次為間隙區域、邊緣區域以及中間區域。通過在壓電基板與電極之間設置被電極覆蓋的山丘層可以使得間隙區域的聲波速度大于中間區域的聲波速度，并且中間區域的聲波速度大于邊緣區域的聲波速度。通過上述設置可以使得叉指換能器之間傳播的波形過濾為活塞波形，從而將非活塞波形的其余波形過濾，進而有效減少聲表面波器件的寄生模式，使得聲表面波器件具有較高的品質因子。本發明還提供了一種聲表面波器件的制備方法，通過該方法做制備的聲表面波器件同樣具有上述有益效果。

技術領域

本發明涉及聲波器件領域，特別是涉及一種聲表面波器件及其制備方法。

背景技術

隨著近年來科技不斷的進步，聲表面波器件得到了極大的發展。所謂聲表面波，即在壓電固體材料表面產生和傳播、且振幅隨深入固體材料的深度增加而迅速減小的彈性波。相比于沿固體介質內部傳播的體聲波，聲表面波具有兩個顯著特點：一是能量密度高，其中約90％的能量集中于厚度等于一個波長的表面薄層中；二是傳播速度慢，約為縱波速度的45％，是橫波速度的90％。

基于上述聲表面波的特點，在現階段聲表面波器件能實現多種復雜信號處理功能，時間帶寬積大，動態范圍大，并且具有體積小、重量輕、穩定可靠、易于大批量生產且重復性好等優點，相應的聲表面波器件通常作為諧振器使用，具有廣闊的應用前景。

但是由于聲表面波自身的特點，會產生較多的寄生模式，從而降低聲表面波器件的品質因子。在現有技術中，他通常會使用變跡法來提高聲表面波器件的品質因子。

但是在現有技術中，通過變跡法不能有效減少寄生模式的數量，從而對于聲表面波器件的品質因子提升效果有限。

發明內容

本發明的目的是提供一種聲表面波器件，具有較高的品質因子；本發明的另一目的在于提供一種聲表面波器件的制備方法，通過該方法制備出的聲表面波器件具有較高的品質因子。

為解決上述技術問題，本發明提供一種聲表面波器件，包括壓電基板和叉指換能器；

所述叉指換能器位于所述壓電基板的第一表面；其中，所述叉指換能器包括相對設置的兩條母線，兩條所述母線之間設置有至少兩條電極，所述電極包括與任一所述母線相接觸的第一端部、與所述第一端部相對的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之間的中間部；所述第二端部與另一所述母線之間具有間隙，所述間隙形成沿所述母線延長線的方向延伸的間隙區域；

所述第二端部形成沿所述母線延長線的方向延伸的邊緣區域，所述中間部形成沿所述母線延長線的方向延伸的中間區域；所述壓電基板的第一表面被所述電極覆蓋的區域設置有具有預設體波聲速的山丘層，所述電極覆蓋所述山丘層，以使所述間隙區域的聲波速度大于所述中間區域的聲波速度，并且所述中間區域的聲波速度大于所述邊緣區域的聲波速度。

可選的，所述山丘層包括至少兩層子山丘層；所述子山丘層沿所述壓電基板的所述第一表面向上依次設置；任一所述子山丘層沿垂直于所述母線延長線方向的長度均不相同。

可選的，所述山丘層位于所述邊緣區域，所述山丘層的體波聲速小于或等于所述電極的體波聲速。

可選的，所述山丘層位于所述中間區域，所述山丘層的體波聲速大于所述電極的體波聲速。

可選的，所述聲表面波器件還包括：

沿所述母線延長線方向位于所述叉指換能器兩側的反射柵。

可選的，所述聲表面波器件包括：

至少兩個所述叉指換能器；

沿所述母線延長線方向位于任一所述叉指換能器兩側的反射柵；

所述叉指換能器相互耦合。