[發明專利]一種聲表面波器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201810757942.2
• 申請日: 2018-07-11
• 公開（公告）號: CN109004914B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發明（設計）人: 彭波華;胡念楚;賈斌
• 申請（專利權）人: 開元通信技術（廈門）有限公司
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/02;H03H3/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種聲表面波器件，其特征在于，包括壓電基板和叉指換能器；

所述叉指換能器位于所述壓電基板的第一表面；其中，所述叉指換能器包括相對設置的兩條母線，兩條所述母線之間設置有至少兩條電極，所述電極包括與任一所述母線相接觸的第一端部、與所述第一端部相對的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之間的中間部；所述第二端部與另一所述母線之間具有間隙，所述間隙形成沿所述母線延長線的方向延伸的間隙區域；

所述第二端部形成沿所述母線延長線的方向延伸的邊緣區域，所述中間部形成沿所述母線延長線的方向延伸的中間區域；所述壓電基板的第一表面被所述電極覆蓋的區域設置有具有預設體波聲速的山丘層，所述電極覆蓋所述山丘層，以使所述間隙區域的聲波速度大于所述中間區域的聲波速度，并且所述中間區域的聲波速度大于所述邊緣區域的聲波速度；

所述山丘層包括至少兩層子山丘層；所述子山丘層沿所述壓電基板的所述第一表面向上依次設置；任一所述子山丘層沿垂直于所述母線延長線方向的長度均不相同；

具有不同寬度的子山丘層對應不同的寄生模式，以減少聲表面波在傳遞過程中所產生的多種寄生模式。

2.根據權利要求1所述的聲表面波器件，其特征在于，所述山丘層位于所述邊緣區域，所述山丘層的體波聲速小于或等于所述電極的體波聲速。

3.根據權利要求1所述的聲表面波器件，其特征在于，所述山丘層位于所述中間區域，所述山丘層的體波聲速大于所述電極的體波聲速。

4.根據權利要求1所述的聲表面波器件，其特征在于，所述聲表面波器件還包括：

沿所述母線延長線方向位于所述叉指換能器兩側的反射柵。

5.根據權利要求1所述的聲表面波器件，其特征在于，所述聲表面波器件包括：

至少兩個所述叉指換能器；

沿所述母線延長線方向位于任一所述叉指換能器兩側的反射柵；

所述叉指換能器相互耦合。

6.一種聲表面波器件的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

在壓電基板第一表面的預設區域設置具有預設體波聲速的山丘層；

在設置有所述山丘層的壓電基板的第一表面設置叉指換能器，以形成所述聲表面波器件；其中，所述叉指換能器包括相對設置的兩條母線，兩條所述母線之間設置有至少兩條電極，所述電極包括與任一所述母線相接觸的第一端部、與所述第一端相對的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之間的中間部；所述第二端部與另一所述母線之間具有間隙，所述間隙形成沿所述母線延長線的方向延伸的間隙區域；所述第二端部形成沿所述母線延長線的方向延伸的邊緣區域，所述中間部形成沿所述母線延長線的方向延伸的中間區域；所述電極覆蓋所述山丘層，以使所述間隙區域的聲波速度大于所述中間區域的聲波速度，同時所述中間區域的聲波速度大于所述邊緣區域的聲波速度；

所述山丘層包括至少兩層子山丘層；所述子山丘層沿所述壓電基板的所述第一表面向上依次設置；任一所述子山丘層沿垂直于所述母線延長線方向的長度均不相同；

具有不同寬度的子山丘層對應不同的寄生模式，以減少聲表面波在傳遞過程中所產生的多種寄生模式。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述在壓電基板第一表面的預設區域設置具有預設體波聲速的山丘層包括：

在所述壓電基板的第一表面濺射所述山丘層；

刻蝕所述山丘層，以在所述壓電基板第一表面的預設區域留有所述山丘層。

8.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述在壓電基板第一表面的預設區域設置具有預設體波聲速的山丘層包括：

在所述壓電基板的第一表面設置膠層；

刻蝕所述膠層，以暴露所述壓電基板第一表面的預設區域；

在刻蝕所述膠層之后，在所述壓電基板的第一表面濺射所述山丘層；

剝離所述膠層，以在所述壓電基板第一表面的預設區域留有所述山丘層。

9.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，在所述在設置有所述山丘層的壓電基板的第一表面設置叉指換能器之后，所述方法還包括：

在所述壓電基板的第一表面設置溫度補償層，所述溫度補償層覆蓋所述叉指換能器。