[發明專利]氧化銦錫靶材的制備方法在審
| 申請號： | 201810753570.6 | 申請日： | 2018-07-10 |
| 公開（公告）號： | CN108585832A | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發明（設計）人： | 章波;郭元 | 申請（專利權）人： | 蕪湖市元奎新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/457 | 分類號： | C04B35/457;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 蘇友娟 |
| 地址： | 238300 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 燒結 預混液 氧化銦錫靶材 漿料 鋁制 球磨 球磨機 化學共沉淀 導電炭黑 混合漿料 坯體成型 燒結助劑 脫模干燥 懸浮漿料 抽真空 電性能 電阻率 分散劑 燒結劑 石膏板 氧化鐠 粘結劑 致密化 靶材 粉體 模裝 坯體 水中 吸漿 注漿 成型 | ||
1.一種氧化銦錫靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)預混液制備：將分散劑和粘結劑加入水中，攪拌均勻，然后用pH調節劑調節pH值至8～10，得預混液，所述分散劑為重量比為1：1～3的草酸和十六烷基三甲基溴化銨的混合物；
2)懸浮漿料的制備：向預混液中加入以化學共沉淀法制備的ITO粉體和燒結助劑，再于球磨機中進行球磨，球磨后得到混合漿料，攪拌，抽真空除去漿料中的氣泡；所述燒結劑由氧化鐠、導電炭黑和Nb2O5組成；
3)注漿后坯體成型：把鋁制模裝在石膏板上，將步驟2)所得漿料注入鋁制模中；吸漿成型后脫模干燥，得ITO坯體；
4)燒結：干燥后的ITO坯體在常壓純氧氣的氣氛下燒結，溫度為1350～1550℃，保溫時間為3～10小時，得氧化銦錫靶材。
2.根據權利要求1所述的氧化銦錫靶材的制備方法，其特征在于，所述分散劑的加入量為ITO粉體質量的0.3～0.5％，粘結劑的加入量為ITO粉體質量的0.5～2％。
3.根據權利要求2所述的氧化銦錫靶材的制備方法，其特征在于，所述粘結劑為聚乙烯醇或聚乙烯醇縮丁醛。
4.根據權利要求1所述的氧化銦錫靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結助劑的添加量為ITO粉體質量的2～8％。
5.根據權利要求1所述的氧化銦錫靶材的制備方法，其特征在于，所述氧化鐠、導電炭黑和Nb2O5的質量之比為5～6:2～3:1。
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