[發(fā)明專(zhuān)利]彩膜基板的制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810748566.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108919547B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 易天華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02F1/1335
• 分類(lèi)號(hào): G02F1/1335;G03F7/004
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明提供一種彩膜基板的制作方法，其中所述方法包括提供一基板；在所述基板上，形成光阻層，所述光阻層包括預(yù)設(shè)著色材料，所述光阻層包括第一區(qū)域、第二區(qū)域以及第三區(qū)域；對(duì)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域中的所述預(yù)設(shè)著色材料，進(jìn)行多次曝光操作，使所述第一區(qū)域透射第一預(yù)設(shè)光、所述第二區(qū)域透射第二預(yù)設(shè)光、所述第三區(qū)域透射第三預(yù)設(shè)光。該方案通過(guò)在光阻層添加預(yù)設(shè)著色材料后，經(jīng)多次曝光操作，即可使不同區(qū)域透射不同顏色的光，提高了彩膜基板的制作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種彩膜基板的制作方法。

背景技術(shù)

液晶顯示裝置(liquid crystal display，LCD)具有畫(huà)質(zhì)好、體積小、重量輕、低驅(qū)動(dòng)電壓、低功耗、無(wú)輻射和制造成本相對(duì)較低的優(yōu)點(diǎn)，在平板顯示領(lǐng)域占主導(dǎo)地位。

其中，彩膜基板是液晶顯示裝置的重要組成部分。如圖1所示的彩膜基板的制作過(guò)程，需要使用三種不同光阻，經(jīng)三次涂布、三次曝光以及三次顯影，才能制成具有紅色、藍(lán)色和綠色三種不同顏色的彩膜基板。

在此過(guò)程中，僅有不到三分之一的光阻得到有效利用，造成光阻的利用率低。同時(shí)，重復(fù)的加工工序，需要在不同機(jī)臺(tái)之間來(lái)回搬送，增加了時(shí)間成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種彩膜基板的制作方法，提高了彩膜基板制作的效率。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種彩膜基板的制作方法，包括：

提供一基板；

在所述基板上，形成光阻層，所述光阻層包括預(yù)設(shè)著色材料，所述光阻層包括第一區(qū)域、第二區(qū)域以及第三區(qū)域；

對(duì)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域中的所述預(yù)設(shè)著色材料，進(jìn)行多次曝光操作，使所述第一區(qū)域透射第一預(yù)設(shè)光、所述第二區(qū)域透射第二預(yù)設(shè)光、所述第三區(qū)域透射第三預(yù)設(shè)光。

在一些實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)著色材料包括第一官能團(tuán)、第二官能團(tuán)以及第三官能團(tuán)，所述第一官能團(tuán)用于吸收第一預(yù)設(shè)光，所述第二官能團(tuán)用于吸收第二預(yù)設(shè)光，所述第三官能團(tuán)用于吸收第三預(yù)設(shè)光；

所述對(duì)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域中的所述預(yù)設(shè)著色材料，進(jìn)行多次曝光操作，使所述第一區(qū)域透射第一預(yù)設(shè)光，所述第二區(qū)域透射第二預(yù)設(shè)光，所述第三區(qū)域透射第三預(yù)設(shè)光步驟包括：

對(duì)所述第一區(qū)域進(jìn)行曝光操作，分解位于所述第一區(qū)域的所述第一官能團(tuán)；

對(duì)所述第二區(qū)域進(jìn)行曝光操作，分解位于所述第二區(qū)域的所述第二官能團(tuán)；

對(duì)所述第三區(qū)域進(jìn)行曝光操作，分解位于所述第三區(qū)域的所述第三官能團(tuán)。

在一些實(shí)施例中，所述第一預(yù)設(shè)光為紅光，所述第一官能團(tuán)包括NH2和氧雙鍵。

在一些實(shí)施例中，所述第二預(yù)設(shè)光為綠光，所述對(duì)所述第二區(qū)域進(jìn)行曝光操作，分解位于所述第二區(qū)域的所述第二官能團(tuán)步驟包括：

若所述第二區(qū)域包括則分解所述第二區(qū)域中的

在一些實(shí)施例中，所述第三預(yù)設(shè)光為藍(lán)光，所述第三官能團(tuán)包括

在一些實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)著色材料包括第一添加劑材料、第二添加劑材料、第三添加劑材料，以及第四添加劑材料；

所述對(duì)所述第一區(qū)域、所述第二區(qū)域以及所述第三區(qū)域中的所述預(yù)設(shè)著色材料，進(jìn)行多次曝光操作，使所述第一區(qū)域透射第一預(yù)設(shè)光，所述第二區(qū)域透射第二預(yù)設(shè)光，所述第三區(qū)域透射第三預(yù)設(shè)光步驟包括：

對(duì)所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域進(jìn)行曝光操作，使位于所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域的所述第三添加劑材料和所述第四添加劑材料生成第一目標(biāo)官能團(tuán)，所述第一目標(biāo)官能團(tuán)吸收第三預(yù)設(shè)光；