[發明專利]彩膜基板的制作方法

有效

• 申請號: 201810748566.0
• 申請日: 2018-07-10
• 公開（公告）號: CN108919547B
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 易天華
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G03F7/004
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一基板；

在所述基板上，形成光阻層，所述光阻層包括預設著色材料，所述光阻層包括第一區域、第二區域以及第三區域；

對所述第一區域、所述第二區域以及所述第三區域中的所述預設著色材料，進行多次曝光操作，使所述第一區域透射第一預設光、所述第二區域透射第二預設光、所述第三區域透射第三預設光；

其中，當所述預設著色材料包括第一官能團、第二官能團以及第三官能團，所述第一官能團用于吸收第一預設光，所述第二官能團用于吸收第二預設光，所述第三官能團用于吸收第三預設光時，所述對所述第一區域、所述第二區域以及所述第三區域中的所述預設著色材料，進行多次曝光操作，使所述第一區域透射第一預設光，所述第二區域透射第二預設光，所述第三區域透射第三預設光步驟包括：

對所述第一區域進行曝光操作，分解位于所述第一區域的所述第一官能團；

對所述第二區域進行曝光操作，分解位于所述第二區域的所述第二官能團；

對所述第三區域進行曝光操作，分解位于所述第三區域的所述第三官能團；

當所述預設著色材料包括第一添加劑材料、第二添加劑材料、第三添加劑材料以及第四添加劑材料時，所述對所述第一區域、所述第二區域以及所述第三區域中的所述預設著色材料，進行多次曝光操作，使所述第一區域透射第一預設光，所述第二區域透射第二預設光，所述第三區域透射第三預設光步驟包括：

對所述第一區域和所述第二區域進行曝光操作，使位于所述第一區域和所述第二區域的所述第三添加劑材料和所述第四添加劑材料生成第一目標官能團，所述第一目標官能團吸收第三預設光；

對所述第一區域和所述第三區域進行曝光操作，使位于所述第一區域和所述第三區域的所述第二添加劑材料和所述第四添加劑材料生成第二目標官能團，所述第二目標官能團吸收第二預設光；

對所述第二區域和所述第三區域進行曝光操作，使位于所述第二區域和所述第三區域的所述第一添加劑材料和所述第四添加劑材料生成第三目標官能團，所述第三目標官能團吸收第一預設光。

2.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一預設光為紅光，所述第一官能團包括NH2和氧雙鍵。

3.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第二預設光為綠光，所述對所述第二區域進行曝光操作，分解位于所述第二區域的所述第二官能團步驟包括：

若所述第二區域包括則分解所述第二區域中的

4.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第三預設光為藍光，所述第三官能團包括

5.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一添加劑材料包括：

6.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第二添加劑材料包括：

7.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第三添加劑材料包括：

8.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第四添加劑材料包括：