[發明專利]清掃系統、透明基板的清掃方法及電子部件的制造方法

有效

• 申請號: 201810738124.8
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN109248892B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 青山博司;林田徹
• 申請（專利權）人: 哈里斯股份有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B1/00;B08B1/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;李罡

一種清掃系統、透明基板的清掃方法及電子部件的制造方法，能高效可靠地清掃薄板表面。清掃系統去除附著于薄板表面的異物，包括：輸送薄板的輸送裝置；以及清掃裝置，具有與通過輸送裝置輸送的薄板表面對置地配置的清掃部，清掃裝置包括相對移動機構，該相對移動機構在為了清掃而使清掃部直接或間接地接觸于薄板表面的狀態下使清掃部反復進行與薄板表面相對的相對性的靜止動作和移動動作。優選輸送裝置向一方向輸送利用清掃裝置的清掃狀態的薄板表面，相對移動機構交替地反復進行一方向的移動動作以及相反方向的移動動作，在移動動作中，由相對移動機構移動的清掃部移動的最大移動速度比由輸送裝置輸送的薄板表面的移動速度快。

技術領域

本發明涉及清掃系統、透明基板的清掃方法及電子部件的制造方法。

背景技術

在便攜電話、智能電話等電子設備中，使用玻璃基板。在電子設備的生產線中，作為對玻璃基板的表面進行清掃的清掃系統，已知有例如日本特開2006－272223號公報所記載的清掃系統。該公報所記載的系統為，在刮板上覆蓋織物，一邊通過刮板將織物(cloth)按壓到玻璃基板上一邊使玻璃基板移動，由此對玻璃基板的表面進行清掃。在該公報所記載的系統中，反復進行3次使刮板從玻璃基板的一端向另一端相對移動的動作。

專利文獻1：日本特開2006－272223號公報

但是，當在玻璃基板的表面上附著有粘接劑等那樣粘性較高的異物的情況、油等附著于玻璃基板的中央的情況下，存在如上述公報所記載的系統那樣僅通過3次擦除也不能擦除的情況。

另外，在上述公報所記載的系統中，在將刮板從玻璃基板的一端向另一端相對移動后，為了下一擦除動作，再次將刮板返回到玻璃基板的一端后進行擦除動作，所以作業效率較差，為了對大量的玻璃基板進行擦除作業，需要非常長的時間。

發明內容

因此，本發明的技術問題在于提供一種能夠高效可靠地清掃薄板表面的清掃系統及清掃方法以及電子設備的制造方法。

為了解決上述技術問題而完成的發明是一種清掃系統，將附著于薄板表面的異物去除，該清掃系統包括：

輸送裝置，輸送所述薄板；以及

清掃裝置，具有與通過所述輸送裝置輸送的所述薄板表面對置地配置的清掃部，

所述清掃裝置包括相對移動機構，所述相對移動機構在為了清掃而使所述清掃部直接或間接地接觸于所述薄板表面的狀態下使所述清掃部反復進行相對于所述薄板表面的相對性的靜止動作和移動動作。

在該清掃系統中，通過所述相對移動機構，在所述清掃部直接或間接地接觸于所述薄板表面的狀態下反復進行所述清掃部相對于所述薄板表面的相對性的靜止動作和移動動作，所以能夠通過清掃部高效且可靠地去除薄板表面的異物。即，在該清掃系統中，相對于薄板表面，清掃部不僅進行相對性的移動動作還進行靜止動作，所以不僅能夠通過動摩擦進行異物的去除還能夠通過靜摩擦進行異物的去除，能夠可靠地去除薄板表面的異物。在這里，所謂直接，意味著接觸面直接接觸于薄板而進行擦除，在清掃部為適于擦除薄板的構成的情況下，清掃部直接地接觸于薄板而進行擦除。所謂間接，意味著在接觸面與薄板之間配置有織物構件等1或多個另外的構件那樣的情況，在接觸面不是適于擦除薄板的構成的情況下等，清掃部間接地接觸于薄板而擦除。

優選所述輸送裝置向一方向輸送由所述清掃裝置清掃的清掃狀態的所述薄板表面。由此，能夠一邊通過輸送裝置向一方向輸送薄板一邊通過清掃裝置對薄板的表面進行清掃。

在該情況下，優選所述相對移動機構在所述移動動作時使所述清掃部相對于所述薄板表面向所述一方向或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移動。通過使清掃部向所述一方向以與薄板相同速度移動，能夠得到所述清掃部的靜止動作，能夠通過靜摩擦進行異物的去除。另外，通過使清掃部向所述一方向的相反方向移動，清掃部與薄板的相對速度變快，能夠有效且可靠地去除薄板表面的異物。