[發明專利]清掃系統、透明基板的清掃方法及電子部件的制造方法

有效

• 申請號: 201810738124.8
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN109248892B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 青山博司;林田徹
• 申請（專利權）人: 哈里斯股份有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B1/00;B08B1/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;李罡

1.一種清掃系統，去除附著于薄板表面的異物，所述清掃系統包括：

輸送裝置，輸送所述薄板；以及

清掃裝置，具有與通過所述輸送裝置輸送的所述薄板表面對置地配置的清掃部，

所述清掃裝置包括相對移動機構，所述相對移動機構在為了清掃而使所述清掃部直接或間接地接觸于所述薄板表面的狀態下使所述清掃部反復進行相對于所述薄板表面的相對性的靜止動作和移動動作。

2.根據權利要求1所述的清掃系統，其中，

所述輸送裝置向一方向輸送由所述清掃裝置清掃的清掃狀態的所述薄板表面。

3.根據權利要求2所述的清掃系統，其中，

所述相對移動機構在所述移動動作時使所述清掃部相對于所述薄板表面向所述一方向、或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移動。

4.根據權利要求3所述的清掃系統，其中，

所述相對移動機構交替地反復進行所述一方向的移動動作以及所述相反方向的移動動作，

在所述移動動作中，由所述相對移動機構移動的所述清掃部的最大移動速度比由所述輸送裝置輸送的所述薄板表面的移動速度快。

5.根據權利要求1所述的清掃系統，其中，

所述清掃裝置還包括切換機構，所述切換機構使所述清掃部在與所述薄板表面直接或間接地接觸的狀態和與所述薄板表面分離的狀態間切換。

6.根據權利要求1所述的清掃系統，其中，

所述清掃部隔著織物構件而間接地接觸于所述薄板表面。

7.根據權利要求6所述的清掃系統，其中，

所述清掃裝置還包括向所述清掃部供給織物構件的供給機構。

8.根據權利要求7所述的清掃系統，其中，

所述清掃裝置還包括：

柱狀構件，在所述柱狀構件的前端面上具有所述清掃部；以及按壓構件，將織物構件按壓到所述柱狀構件而防止從所述供給機構向所述清掃部供給的長條狀的織物構件與所述清掃部偏離。

9.根據權利要求8所述的清掃系統，其中，

所述柱狀構件在所述前端面與側壁面之間具有邊緣。

10.根據權利要求1所述的清掃系統，其中，

所述輸送裝置還具有向所述清掃部供給清洗液的供給噴嘴。

11.根據權利要求2所述的清掃系統，其中，

所述輸送裝置還具有保持所述薄板的保持部和使該保持部向所述一方向行走的軌道。

12.根據權利要求1所述的清掃系統，其中，

所述清掃系統包括：

第一所述輸送裝置，從薄板的一面保持所述薄板；

第一所述清掃裝置，對通過第一所述輸送裝置輸送的所述薄板的另一面進行清掃；

第二所述輸送裝置，從所述薄板的另一面保持通過第一所述清掃裝置清掃了一面的所述薄板；以及

第二所述清掃裝置，對通過第二所述輸送裝置輸送的所述薄板的一面進行清掃。

13.一種透明基板的清掃方法，對透明基板的表面進行清掃，

在所述透明基板的清掃方法中，通過根據權利要求1所述的清掃系統對所述透明基板的表面進行清掃。

14.一種電子設備的制造方法，制造包含透明基板的電子設備，

所述電子設備的制造方法具有利用根據權利要求13所述的透明基板的清掃方法的清掃工序。