[發(fā)明專利]平行平板波導(dǎo)測量裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810737509.2
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN108872268A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閆煥磊;時西航;許弘毅;高振
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳凌波近場科技有限公司
• 主分類號: G01N22/00
• 分類號: G01N22/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 鄭海峰

1.一種平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于包括：可拆卸式上板束波裝置、二維平面移動系統(tǒng)、計算機(jī)、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、升降臺、水平調(diào)節(jié)裝置和近場測量探頭；

所述計算機(jī)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相連，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸入端通過射頻連接線與近場測量探頭相連，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出端通過射頻連接線與樣品或激發(fā)探針相連，可拆卸式上板束波裝置包括上板和支撐上板的框架，上板上設(shè)有探測口；近場測量探頭在探測口內(nèi)被夾持固定；所述升降臺固定在二維平面坐標(biāo)移動系統(tǒng)上，水平調(diào)節(jié)裝置固定在升降臺上；所述的二維平面移動系統(tǒng)通過計算機(jī)控制帶動升降臺在X軸和Y軸方向移動；水平調(diào)節(jié)裝置的上表面和上板均為金屬材質(zhì)且平行設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于所述的水平調(diào)節(jié)裝置包括下平板、支撐限位板和若干水平調(diào)節(jié)件；所述的支撐限位板上表面設(shè)有與下平板形狀相同的凹陷部，所述的凹陷部用于安裝下平板；水平調(diào)節(jié)件固定在支撐限位板上，下平板底部由所述的若干水平調(diào)節(jié)件進(jìn)行支撐。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于所述的水平調(diào)節(jié)件均勻分布在所述下平板邊緣的下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于所述的二維平面移動系統(tǒng)包括第一單臂直線機(jī)器人、第二單臂直線機(jī)器人、設(shè)備基座、線性導(dǎo)軌；所述的第一單臂直線機(jī)器人和第二單臂直線機(jī)器人均包括伺服控制器、滑軌和滑塊；伺服控制器控制滑塊在滑軌上進(jìn)行直線運(yùn)動；線性導(dǎo)軌和第一單臂直線機(jī)器人設(shè)置在所述的設(shè)備基座上，線性導(dǎo)軌和第一單臂直線機(jī)器人的滑軌呈平行設(shè)置，且兩者高度相等，第二單臂直線機(jī)器人的一端固定在所述第一單臂直線機(jī)器人的滑塊上，另一端以可滑動方式安裝在線性導(dǎo)軌上，第二單臂直線機(jī)器人的滑軌與線性導(dǎo)軌呈垂直安裝；升降臺固定在第二單臂直線機(jī)器人的滑塊上。

5.一種權(quán)利要求2所述平行平板波導(dǎo)測量裝置的波導(dǎo)測量方法，其特征在于：對平行平板測量時，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出通過射頻連接線與激發(fā)探針相連；激發(fā)探針位于下平板上用于激發(fā)電磁場；調(diào)節(jié)支撐限位板上的水平調(diào)節(jié)件的進(jìn)給運(yùn)動可支撐起下平板，通過水平調(diào)節(jié)件的微調(diào)調(diào)節(jié)至下平板與上板相對平行；

通過升降臺調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)裝置下平板與上板之間的間隙，即相當(dāng)于調(diào)節(jié)平行平板的間距；近場測量探頭固定在探針固定卡上，探頭針頭與上板平行表面平行；所有機(jī)械調(diào)試完成后通過計算機(jī)設(shè)置掃描步長、步數(shù)和掃描總長度中任意兩項來確定掃描區(qū)域的大小與掃描點密度，設(shè)置完成后上位機(jī)發(fā)布指令調(diào)動二維平面掃描系統(tǒng)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，在每一個點的位置采集數(shù)據(jù)，自動完成整個區(qū)域的掃描工作。

6.一種權(quán)利要求2所述平行平板波導(dǎo)測量裝置的波導(dǎo)測量方法，其特征在于：

樣品放置在水平調(diào)節(jié)裝置下平板上，當(dāng)樣品具有接入端口時，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出通過射頻連接線與樣品的接入端口相連；當(dāng)樣品不具有接入端口或需要測量樣品對電磁場的散射時，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出通過射頻連接線與激發(fā)探針相連；激發(fā)探針位于下平板上用于激發(fā)電磁場；

調(diào)節(jié)支撐限位板上的水平調(diào)節(jié)件的進(jìn)給運(yùn)動可支撐起下平板，通過水平調(diào)節(jié)件的微調(diào)調(diào)節(jié)至下平板與上板相對平行；通過升降臺調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)裝置下平板與上板之間的間隙；近場測量探頭固定在探針固定卡上面，探頭針頭與上板平行表面平行；所有機(jī)械調(diào)試完成后通過計算機(jī)設(shè)置掃描步長、步數(shù)和掃描總長度中的任意兩項來確定掃描區(qū)域的大小與掃描點密度，設(shè)置完成后上位機(jī)發(fā)布指令調(diào)動二維平面掃描系統(tǒng)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，在每一個點的位置采集數(shù)據(jù)，自動完成整個區(qū)域的掃描工作。

7.一種權(quán)利要求1所述平行平板波導(dǎo)測量裝置的電磁束縛空間測量方法，其特征在于：

將銑除一個平面的樣品放置并固定在水平調(diào)節(jié)裝置下平板上面，銑除的面朝上與上板平行，通過升降臺的升降調(diào)節(jié)使樣品與上板保持盡量小的間距，且樣品與上板相對運(yùn)動時無摩擦產(chǎn)生；然后通過計算機(jī)設(shè)置掃描步長、步數(shù)和掃描總長度中的任意兩項來確定掃描區(qū)域的大小與掃描點密度，設(shè)置完成后計算機(jī)發(fā)布指令調(diào)動二維平面掃描系統(tǒng)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，在每一個點的位置采集電磁波數(shù)據(jù)，自動完成樣品內(nèi)部電磁場幅度和相位的數(shù)據(jù)掃描采集工作。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于：所述的電磁束縛空間為矩形波導(dǎo)或諧振腔。