[發(fā)明專利]平行平板波導(dǎo)測量裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810737509.2
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN108872268A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閆煥磊;時西航;許弘毅;高振
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳凌波近場科技有限公司
• 主分類號: G01N22/00
• 分類號: G01N22/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 鄭海峰

1.一種平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于包括：可拆卸式上板束波裝置、二維平面移動系統(tǒng)、計算機、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、升降臺、水平調(diào)節(jié)裝置和近場測量探頭；

所述計算機與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相連，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸入端通過射頻連接線與近場測量探頭相連，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出端通過射頻連接線與樣品或激發(fā)探針相連，可拆卸式上板束波裝置包括上板和支撐上板的框架，上板上設(shè)有探測口；近場測量探頭在探測口內(nèi)被夾持固定；所述升降臺固定在二維平面坐標(biāo)移動系統(tǒng)上，水平調(diào)節(jié)裝置固定在升降臺上；所述的二維平面移動系統(tǒng)通過計算機控制帶動升降臺在X軸和Y軸方向移動；水平調(diào)節(jié)裝置的上表面和上板均為金屬材質(zhì)且平行設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于所述的水平調(diào)節(jié)裝置包括下平板、支撐限位板和若干水平調(diào)節(jié)件；所述的支撐限位板上表面設(shè)有與下平板形狀相同的凹陷部，所述的凹陷部用于安裝下平板；水平調(diào)節(jié)件固定在支撐限位板上，下平板底部由所述的若干水平調(diào)節(jié)件進行支撐。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于所述的水平調(diào)節(jié)件均勻分布在所述下平板邊緣的下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行平板波導(dǎo)測量裝置，其特征在于所述的二維平面移動系統(tǒng)包括第一單臂直線機器人、第二單臂直線機器人、設(shè)備基座、線性導(dǎo)軌；所述的第一單臂直線機器人和第二單臂直線機器人均包括伺服控制器、滑軌和滑塊；伺服控制器控制滑塊在滑軌上進行直線運動；線性導(dǎo)軌和第一單臂直線機器人設(shè)置在所述的設(shè)備基座上，線性導(dǎo)軌和第一單臂直線機器人的滑軌呈平行設(shè)置，且兩者高度相等，第二單臂直線機器人的一端固定在所述第一單臂直線機器人的滑塊上，另一端以可滑動方式安裝在線性導(dǎo)軌上，第二單臂直線機器人的滑軌與線性導(dǎo)軌呈垂直安裝；升降臺固定在第二單臂直線機器人的滑塊上。

5.一種權(quán)利要求2所述平行平板波導(dǎo)測量裝置的波導(dǎo)測量方法，其特征在于：對平行平板測量時，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出通過射頻連接線與激發(fā)探針相連；激發(fā)探針位于下平板上用于激發(fā)電磁場；調(diào)節(jié)支撐限位板上的水平調(diào)節(jié)件的進給運動可支撐起下平板，通過水平調(diào)節(jié)件的微調(diào)調(diào)節(jié)至下平板與上板相對平行；

通過升降臺調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)裝置下平板與上板之間的間隙，即相當(dāng)于調(diào)節(jié)平行平板的間距；近場測量探頭固定在探針固定卡上，探頭針頭與上板平行表面平行；所有機械調(diào)試完成后通過計算機設(shè)置掃描步長、步數(shù)和掃描總長度中任意兩項來確定掃描區(qū)域的大小與掃描點密度，設(shè)置完成后上位機發(fā)布指令調(diào)動二維平面掃描系統(tǒng)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，在每一個點的位置采集數(shù)據(jù)，自動完成整個區(qū)域的掃描工作。

6.一種權(quán)利要求2所述平行平板波導(dǎo)測量裝置的波導(dǎo)測量方法，其特征在于：

樣品放置在水平調(diào)節(jié)裝置下平板上，當(dāng)樣品具有接入端口時，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出通過射頻連接線與樣品的接入端口相連；當(dāng)樣品不具有接入端口或需要測量樣品對電磁場的散射時，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出通過射頻連接線與激發(fā)探針相連；激發(fā)探針位于下平板上用于激發(fā)電磁場；

調(diào)節(jié)支撐限位板上的水平調(diào)節(jié)件的進給運動可支撐起下平板，通過水平調(diào)節(jié)件的微調(diào)調(diào)節(jié)至下平板與上板相對平行；通過升降臺調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)裝置下平板與上板之間的間隙；近場測量探頭固定在探針固定卡上面，探頭針頭與上板平行表面平行；所有機械調(diào)試完成后通過計算機設(shè)置掃描步長、步數(shù)和掃描總長度中的任意兩項來確定掃描區(qū)域的大小與掃描點密度，設(shè)置完成后上位機發(fā)布指令調(diào)動二維平面掃描系統(tǒng)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，在每一個點的位置采集數(shù)據(jù)，自動完成整個區(qū)域的掃描工作。

7.一種權(quán)利要求1所述平行平板波導(dǎo)測量裝置的電磁束縛空間測量方法，其特征在于：

將銑除一個平面的樣品放置并固定在水平調(diào)節(jié)裝置下平板上面，銑除的面朝上與上板平行，通過升降臺的升降調(diào)節(jié)使樣品與上板保持盡量小的間距，且樣品與上板相對運動時無摩擦產(chǎn)生；然后通過計算機設(shè)置掃描步長、步數(shù)和掃描總長度中的任意兩項來確定掃描區(qū)域的大小與掃描點密度，設(shè)置完成后計算機發(fā)布指令調(diào)動二維平面掃描系統(tǒng)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，在每一個點的位置采集電磁波數(shù)據(jù)，自動完成樣品內(nèi)部電磁場幅度和相位的數(shù)據(jù)掃描采集工作。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于：所述的電磁束縛空間為矩形波導(dǎo)或諧振腔。