[發明專利]液簾檢測裝置、加工設備及液簾檢測方法

有效

• 申請號: 201810737337.9
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN108899294B
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發明（設計）人: 牟永仁;黃于維;黃維儒;林強
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;綿陽京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 彭久云

1.一種液簾檢測裝置，包括：

多個流量檢測單元，沿預定方向依次排列且設置為接收液簾的液體，用于同時檢測沿所述預定方向形成的所述液簾在不同的流量檢測單元所在位置處的流量，其中，所述流量是指所述流量檢測單元在預定時間內接收到的液體的量；

信號處理單元，配置為接收所述多個流量檢測單元檢測到的流量數據，并對所述多個流量檢測單元的流量數據進行比較以獲取所述液簾的狀態信息，

其中，所述對所述多個流量檢測單元的流量數據進行比較以獲取所述液簾的狀態信息包括：

比較相鄰的所述流量檢測單元所檢測到的流量差異，當所述流量差異超過預定值時，確定所述液簾中是否存在分叉，其中，所述預定值可以根據所述液簾的均勻性要求進行設定。

2.根據權利要求1所述的液簾檢測裝置，其中，所述信號處理單元還配置為接收所述多個流量檢測單元中每個所述流量檢測單元的位置信息，以確定所述分叉在所述液簾中的位置。

3.根據權利要求1所述的液簾檢測裝置，還包括：

報警單元，配置為當確定所述液簾中存在所述分叉時，發出警報。

4.根據權利要求1-3任一所述的液簾檢測裝置，其中，所述流量檢測單元為水車式流量計。

5.根據權利要求1-3任一所述的液簾檢測裝置，還包括：

位置調節裝置，其中，所述多個流量檢測單元安裝在所述位置調節裝置上，使得所述多個流量檢測單元能夠沿預定方向移動。

6.根據權利要求5所述的液簾檢測裝置，其中，所述位置調節裝置包括：

滑塊，用于支撐并移動所述多個流量檢測單元；

滑軌，包括預定軌道，所述滑塊設置在所述軌道中且可沿所述軌道滑動。

7.根據權利要求5所述的液簾檢測裝置，還包括：

驅動單元，與所述位置調節裝置連接且配置為驅動所述位置調節裝置。

8.一種加工設備，包括液簾形成裝置以及對應于所述液簾形成裝置的如權利要求1-7任一所述的液簾檢測裝置。

9.根據權利要求8所述的加工設備，還包括：

清潔裝置，配置根據所述液簾檢測裝置的檢測結果，對所述液簾形成裝置進行清潔操作。

10.一種液簾檢測方法，包括：

采用沿預定方向依次排列且設置接收液簾的液體的多個流量檢測單元同時檢測所述液簾在不同的流量檢測單元所在位置處的流量，其中，所述流量是指所述流量檢測單元在預定時間內接收到的液體的量；

接收所述多個流量檢測單元檢測到的流量數據，并對所述多個流量檢測單元的流量數據進行比較以獲取所述液簾的狀態信息，

其中，對所述多個流量檢測單元的流量數據進行比較以獲取所述液簾的狀態信息包括：

比較相鄰的所述流量檢測單元所檢測到的流量差異，當所述流量差異超過預定值時，確定所述液簾中是否存在分叉，其中，所述預定值根據所述液簾的均勻性要求進行設定。

11.根據權利要求10所述的液簾檢測方法，其中，當確定所述液簾中存在所述分叉時，發出警報。

12.根據權利要求10所述的液簾檢測方法，還包括：

獲取所述相鄰的所述流量檢測單元的位置，以確定所述分叉在所述液簾中的位置。

13.根據權利要求10-12任一所述的液簾檢測方法，其中，在所述采用多個流量檢測單元同時檢測液簾在不同位置處的流量之前，所述方法還包括：

調節所述多個流量檢測單元至預定位置，以接收所述液簾。