[發(fā)明專利]一種防清潔死角的太陽(yáng)能電池晶體硅清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810737315.2
• 申請(qǐng)日: 2018-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108899293A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宏;王春定;龔志國(guó);姚學(xué)森;劉柏林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天長(zhǎng)市百盛半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 合肥市長(zhǎng)遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34119
• 代理人: 傅磊

本發(fā)明公開(kāi)了一種防清潔死角的太陽(yáng)能電池晶體硅清洗裝置，包括：水槽、托盤組、以及用于提供高壓氣流的高壓氣流供給機(jī)構(gòu)，其中：水槽的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有相對(duì)布置的第一滑槽、第二滑槽；托盤組包括至少一個(gè)托盤，且托盤的一側(cè)設(shè)有第一滑塊和遠(yuǎn)離第一滑塊的一側(cè)的第二滑塊；托盤包括底板和若干個(gè)側(cè)板，底板為鏤空結(jié)構(gòu)，底板的下方設(shè)有限位柱，各側(cè)板均固定在底板的上方并在任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板之間預(yù)留間距以形成卡槽；各側(cè)板的內(nèi)均均設(shè)有夾腔，且各側(cè)板上的夾腔通過(guò)管路彼此連通；任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板相互靠近的一側(cè)側(cè)壁上均設(shè)有與其夾腔連通的氣孔；高壓氣流供給機(jī)構(gòu)與所述管路可拆卸連接。本發(fā)明可以有效提高工件的清洗效果，且無(wú)清洗死角。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及單晶硅片生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種防清潔死角的太陽(yáng)能電池晶體硅清洗裝置。

背景技術(shù)

單晶硅片在生產(chǎn)打磨好后需要清洗表面的污垢，現(xiàn)有的清洗設(shè)備比較傳統(tǒng)，就是將單晶硅片放入放入水槽中沖洗。這樣方式洗得很不干凈，而且由于單晶硅片比較薄，很多都重疊在一起，容易造成清洗死角。

發(fā)明內(nèi)容

基于上述背景技術(shù)存在的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出一種防清潔死角的太陽(yáng)能電池晶體硅清洗裝置。

本發(fā)明提出了一種防清潔死角的太陽(yáng)能電池晶體硅清洗裝置，包括：水槽、托盤組、以及用于提供高壓氣流的高壓氣流供給機(jī)構(gòu)，其中：

水槽的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有豎直延伸的第一滑槽和與第一滑槽相對(duì)布置的第二滑槽；

托盤組包括至少一個(gè)托盤，且托盤的一側(cè)設(shè)有用于卡入第一滑槽內(nèi)的第一滑塊，其遠(yuǎn)離第一滑塊的一側(cè)設(shè)有用于卡入第二滑槽內(nèi)的第二滑塊；

托盤包括底板和若干個(gè)側(cè)板，底板為鏤空結(jié)構(gòu)，底板的下方設(shè)有豎直布置并與其固定的限位柱，各側(cè)板均固定在底板的上方并在任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板之間預(yù)留間距以形成供工件放入的卡槽；各側(cè)板的內(nèi)均均設(shè)有夾腔，且各側(cè)板上的夾腔通過(guò)管路彼此連通；任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板相互靠近的一側(cè)側(cè)壁上均設(shè)有與其夾腔連通的氣孔；

高壓氣流供給機(jī)構(gòu)與所述管路可拆卸連接。

優(yōu)選地，管路包括主管若干個(gè)與主管連通的支管，各支管與各側(cè)板的夾腔一一對(duì)應(yīng)并分別與對(duì)應(yīng)的夾腔連通。

優(yōu)選地，任意一個(gè)支管均通過(guò)可自動(dòng)控制開(kāi)合度的控制閥與對(duì)應(yīng)的夾腔連通。

優(yōu)選地，任意一個(gè)側(cè)板的兩側(cè)側(cè)壁上均分別安裝有用于檢測(cè)卡槽內(nèi)的工件是否與側(cè)板的側(cè)壁抵靠的傳感器，且當(dāng)其中任意一個(gè)傳感器檢測(cè)到工件與側(cè)板的側(cè)壁抵靠時(shí)，與該側(cè)板對(duì)應(yīng)的控制閥控制其開(kāi)合度增大。

優(yōu)選地，卡槽的兩端均設(shè)有與底板固定的擋板，且擋板為鏤空結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，卡槽內(nèi)部設(shè)有多個(gè)與底板固定的擋板，各擋板均為鏤空結(jié)構(gòu)，且各擋板在卡槽內(nèi)部由其一端向其另一端間距布置以將卡槽分隔成多個(gè)槽腔。

優(yōu)選地，托盤設(shè)有多個(gè)，且任意一個(gè)托盤的上盤面上均設(shè)有限位槽，且該限位槽與該托盤上的限位柱位于同一直線上。

優(yōu)選地，高壓氣流供給機(jī)構(gòu)固定安裝在水槽的外壁上。

本發(fā)明中，通過(guò)在水槽內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置相對(duì)布置的第一滑槽、第二滑槽，在托盤上設(shè)置第一滑塊和第二滑塊，以利用第一滑塊、第二滑塊分別與第一滑槽、第二滑槽配合使得托盤可以在水槽內(nèi)部滑上滑下，以便于對(duì)托盤進(jìn)行上料、下料動(dòng)作；同時(shí)，通過(guò)對(duì)托盤的結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置，使得托盤上具有多個(gè)卡槽，以用于放置待清洗工件，同時(shí)，利用高壓氣流供給機(jī)構(gòu)與管路配合分別向各夾腔內(nèi)部輸送高壓氣流，從而在各卡槽的內(nèi)部形成兩股相向流動(dòng)的高壓氣流，以利用該兩股氣流使位于卡槽內(nèi)的工件處于豎立狀，以使得工件在清洗過(guò)程中除底部與托盤接觸外其他各部位均處于懸空狀態(tài)，使其沒(méi)有清洗死角，且水槽內(nèi)的水流在氣流的作用下不斷對(duì)工件形成沖刷，進(jìn)而可以有效提高工件的清洗效果。

附圖說(shuō)明