[發(fā)明專利]一種防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810737315.2
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN108899293A
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宏;王春定;龔志國;姚學(xué)森;劉柏林
• 申請（專利權(quán)）人: 天長市百盛半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 合肥市長遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34119
• 代理人: 傅磊

1.一種防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，包括：水槽(1)、托盤組、以及用于提供高壓氣流的高壓氣流供給機(jī)構(gòu)(2)，其中：

水槽(1)的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有豎直延伸的第一滑槽和與第一滑槽相對布置的第二滑槽；

托盤組包括至少一個(gè)托盤(3)，且托盤(3)的一側(cè)設(shè)有用于卡入第一滑槽內(nèi)的第一滑塊，其遠(yuǎn)離第一滑塊的一側(cè)設(shè)有用于卡入第二滑槽內(nèi)的第二滑塊；

托盤(3)包括底板(31)和若干個(gè)側(cè)板(32)，底板(31)為鏤空結(jié)構(gòu)，底板(31)的下方設(shè)有豎直布置并與其固定的限位柱(4)，各側(cè)板(32)均固定在底板(31)的上方并在任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板(32)之間預(yù)留間距以形成供工件放入的卡槽；各側(cè)板(32)的內(nèi)均均設(shè)有夾腔(a)，且各側(cè)板(32)上的夾腔(a)通過管路(5)彼此連通；任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板(32)相互靠近的一側(cè)側(cè)壁上均設(shè)有與其夾腔(a)連通的氣孔(b)；

高壓氣流供給機(jī)構(gòu)(2)與所述管路(5)可拆卸連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，管路(5)包括主管若干個(gè)與主管連通的支管，各支管與各側(cè)板(32)的夾腔(a)一一對應(yīng)并分別與對應(yīng)的夾腔(a)連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，任意一個(gè)支管均通過可自動(dòng)控制開合度的控制閥與對應(yīng)的夾腔(a)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，任意一個(gè)側(cè)板(32)的兩側(cè)側(cè)壁上均分別安裝有用于檢測卡槽內(nèi)的工件是否與側(cè)板(32)的側(cè)壁抵靠的傳感器，且當(dāng)其中任意一個(gè)傳感器檢測到工件與側(cè)板(32)的側(cè)壁抵靠時(shí)，與該側(cè)板(32)對應(yīng)的控制閥控制其開合度增大。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，卡槽的兩端均設(shè)有與底板(31)固定的擋板(6)，且擋板(6)為鏤空結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，卡槽內(nèi)部設(shè)有多個(gè)與底板(31)固定的擋板(6)，各擋板(6)均為鏤空結(jié)構(gòu)，且各擋板(6)在卡槽內(nèi)部由其一端向其另一端間距布置以將卡槽分隔成多個(gè)槽腔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，托盤(3)設(shè)有多個(gè)，且任意一個(gè)托盤(3)的上盤面上均設(shè)有限位槽，且該限位槽與該托盤(3)上的限位柱(4)位于同一直線上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，其特征在于，高壓氣流供給機(jī)構(gòu)(2)固定安裝在水槽(1)的外壁上。