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[發明專利]半導體結構在審

專利信息
申請號: 201810734843.2 申請日: 2018-07-06
公開(公告)號: CN109755184A 公開(公告)日: 2019-05-14
發明(設計)人: 陳憲偉;楊慶榮;陳明發 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L23/29 分類號: H01L23/29;H01L23/31;H01L23/14
代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 代理人: 蔣林清
地址: 中國臺灣新竹市*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 襯底 裸片 半導體結構 絕緣材料 垂直地 側向隔開 楊氏模數 模數 俯視 視角 觀看
【權利要求書】:

1.一種半導體結構,其包括:

襯底;

第一裸片,其垂直地位于所述襯底上方;

第二裸片,其垂直地位于所述襯底上方且與所述第一裸片側向隔開;和

絕緣材料,其位于所述第一裸片與所述第二裸片之間,

其中從俯視視角看,所述襯底至少部分與所述絕緣材料重疊,且所述襯底的楊氏(Young)模數高于所述絕緣材料的楊氏模數。

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