[發明專利]一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法有效
| 申請號： | 201810731366.4 | 申請日： | 2018-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN108823549B | 公開（公告）日： | 2023-02-28 |
| 發明（設計）人： | 黃飛 | 申請（專利權）人： | 四川納涂科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/02 | 分類號： | C23C16/02;C23C16/27 |
| 代理公司： | 北京中創博騰知識產權代理事務所(普通合伙) 11636 | 代理人： | 李梅 |
| 地址： | 618000 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 cvd 金剛石 涂層 基體 表面 預處理 方法 | ||
1.一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1.將硬質合金拉絲模用超聲波清洗后，烘干，再整齊擺放入石墨坩堝中，將所述坩堝放置入真空炭化爐，抽至極限真空后，并保持一段時間；
步驟2.向反應室通入氫氣，加熱至設定的反應溫度，控制反應壓力，反應一段時間，反應結束后，關閉氫氣，抽真空至極限真空，并保持一段時間；
步驟3.降低反應室溫度，向反應室內通入氧氣，控制反應壓力，反應一段時間，反應結束后，關閉電源和氣源，將反應室抽至極限真空度后，關閉反應室閥門，待模具自然冷卻至常溫后，取出模具進行檢測；
步驟4.將經步驟3檢測合格的拉絲模放入超聲波機中進行超聲植晶，并保持8-15min，處理結束后撈出清洗、烘干。
2.根據權利要求1所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟1中，將所述硬質合金拉絲模用超聲波清洗5-15min，烘干后，檢測所述硬質合金拉絲模的潔凈度合格后，再整齊擺放入石墨坩堝中。
3.根據權利要求2所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟2中，通入氫氣的流量為2500-3500sccm，反應溫度設定為1100-1200℃，反應壓力為4000-5000Pa。
4.根據權利要求3所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟3中，將反應室溫度降至850-950℃，通入氧氣的流量為15-25sccm，反應壓力為1100-1300Pa。
5.根據權利要求1所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟1中，抽至極限真空后，并保持3-8min。
6.根據權利要求5所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟2中，抽至極限真空后，并保持3-8min。
7.根據權利要求1-6任意一項所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟2中的反應時間為1-3小時。
8.根據權利要求7所述的一種CVD金剛石涂層基體表面預處理方法，其特征在于，所述步驟3中的反應時間為20-50min。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
