[發(fā)明專利]一種新型晶圓撕膜機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810727337.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-05
• 公開（公告）號(hào): CN108674001A
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊雪松;王倩;王麗;朱威莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B32B38/10
• 分類號(hào): B32B38/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種新型晶圓撕膜機(jī)，包括工作平臺(tái)、顯示屏、撕膜機(jī)主體、輔助殼以及撕膜機(jī)主體下表面設(shè)置的支撐機(jī)構(gòu)，所述撕膜機(jī)主體的上表面設(shè)置有防護(hù)機(jī)構(gòu)，所述防護(hù)機(jī)構(gòu)包括限位槽、凹槽、控制蓋、軸承、把手、彈性墊片和限位柱，所述工作平臺(tái)安裝設(shè)置在撕膜機(jī)主體的上表面中間位置處，所述顯示屏安裝固定于撕膜機(jī)主體的側(cè)面；該發(fā)明設(shè)置有防護(hù)機(jī)構(gòu)，控制蓋的邊緣與凹槽內(nèi)部的彈性墊片貼合，防止控制蓋在關(guān)閉時(shí)與撕膜機(jī)主體碰撞，防止撕膜機(jī)主體損傷并增加撕膜機(jī)主體的使用壽命，提高撕膜機(jī)主體的工作效率，控制蓋兩側(cè)軸承可防止控制蓋在活動(dòng)時(shí)產(chǎn)生異響，并防止控制蓋摩擦損傷，增加控制蓋的耐用性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于撕膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型晶圓撕膜機(jī)。

背景技術(shù)

硅是由石英砂所精練出來的，晶圓便是硅元素加以純化（99.999%），接著是將這些純硅制成硅晶棒，成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圓，如8英寸晶圓、12英寸晶圓等，在使用晶圓制造集成電路前，需要把晶圓表面的膜撕開，晶圓撕膜方式分為人工撕膜、半自動(dòng)撕膜機(jī)、全自動(dòng)撕膜機(jī)。

現(xiàn)有的撕膜機(jī)控制蓋在使用時(shí)容易發(fā)生摩擦產(chǎn)生噪音，長時(shí)間使用會(huì)減少控制蓋的使用壽命，且在控制蓋關(guān)閉時(shí)控制蓋下表面邊緣與撕膜機(jī)表面直接碰撞，容易發(fā)生碰撞響聲長時(shí)間碰撞容易變形，導(dǎo)致撕膜機(jī)主體損壞降低使用壽命的問題，為此我們提出一種新型晶圓撕膜機(jī)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種新型晶圓撕膜機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出現(xiàn)有的撕膜機(jī)控制蓋在使用時(shí)容易發(fā)生摩擦產(chǎn)生噪音，長時(shí)間使用會(huì)減少控制蓋的使用壽命，且在控制蓋關(guān)閉時(shí)控制蓋下表面邊緣與撕膜機(jī)表面直接碰撞，容易發(fā)生碰撞響聲長時(shí)間碰撞容易變形，導(dǎo)致撕膜機(jī)主體損壞降低使用壽命的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種新型晶圓撕膜機(jī)，包括工作平臺(tái)、顯示屏、撕膜機(jī)主體、輔助殼以及撕膜機(jī)主體下表面設(shè)置的支撐機(jī)構(gòu)，所述撕膜機(jī)主體的上表面設(shè)置有防護(hù)機(jī)構(gòu)，所述防護(hù)機(jī)構(gòu)包括限位槽、凹槽、控制蓋、軸承、把手、彈性墊片和限位柱，所述工作平臺(tái)安裝設(shè)置在撕膜機(jī)主體的上表面中間位置處，所述顯示屏安裝固定于撕膜機(jī)主體的側(cè)面，所述輔助殼安裝固定于撕膜機(jī)主體的上側(cè)，所述限位槽對(duì)稱開設(shè)在撕膜機(jī)主體的上表面且位于工作平臺(tái)的兩側(cè)，所述凹槽開設(shè)在撕膜機(jī)主體的上表面邊緣位置處且與控制蓋的位置相對(duì)應(yīng)，所述彈性墊片安裝放置在凹槽的內(nèi)部，所述軸承對(duì)稱安裝固定在控制蓋的兩側(cè)，所述控制蓋通過軸承與撕膜機(jī)主體的上表面連接且控制蓋的下表面邊緣位置與凹槽卡合，所述把手安裝固定在控制蓋的側(cè)面中間位置處，所述限位柱對(duì)稱安裝固定在控制蓋的下表面并放置在限位槽的內(nèi)部，所述控制蓋的上表面設(shè)置有控制機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述控制機(jī)構(gòu)包括第一磁體、第一固定槽、第二磁體、第二固定槽和連接桿，所述第一固定槽對(duì)稱開設(shè)在控制蓋的上表面兩端，所述第一磁體固定放置在第一固定槽的內(nèi)部并與第二磁體相互吸引，所述第二磁體固定放置在第二固定槽的內(nèi)部，所述第二固定槽開設(shè)在連接桿的側(cè)面，所述連接桿對(duì)稱安裝在輔助殼的側(cè)面且與第一固定槽的位置相對(duì)應(yīng)。

優(yōu)選的，所述支撐機(jī)構(gòu)包括支撐腿、防震墊、活動(dòng)槽和防滑墊，所述支撐腿安裝固定在撕膜機(jī)主體的下表面四角位置處并放置在活動(dòng)槽的內(nèi)部，所述活動(dòng)槽開設(shè)在撕膜機(jī)主體的下表面四角位置處，所述防震墊放置在活動(dòng)槽的內(nèi)部并與支撐腿的頂端連接，所述防滑墊套設(shè)在支撐腿的底端表面。

優(yōu)選的，所述連接桿的一端與輔助殼側(cè)面連接固定另一端設(shè)置有第二磁體，所述連接桿通過第二磁體與第一磁體相互吸引和控制蓋側(cè)面連接固定。

優(yōu)選的，所述凹槽的內(nèi)部放置有彈性墊片，所述彈性墊片的外表面與凹槽的內(nèi)表面貼合，所述彈性墊片的內(nèi)表面放置有控制蓋下表面邊緣殼體，所述限位柱的一端與限位槽卡合另一端與控制蓋的下表面連接固定。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：