[發明專利]一種新型晶圓撕膜機

在審

• 申請號: 201810727337.0
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN108674001A
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發明（設計）人: 楊雪松;王倩;王麗;朱威莉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型晶圓撕膜機，包括工作平臺（1）、顯示屏（2）、撕膜機主體（4）、輔助殼（8）以及撕膜機主體（4）下表面設置的支撐機構，其特征在于：所述撕膜機主體（4）的上表面設置有防護機構，所述防護機構包括限位槽（3）、凹槽（5）、控制蓋（6）、軸承（7）、把手（9）、彈性墊片（10）和限位柱（11），所述工作平臺（1）安裝設置在撕膜機主體（4）的上表面中間位置處，所述顯示屏（2）安裝固定于撕膜機主體（4）的側面，所述輔助殼（8）安裝固定于撕膜機主體（4）的上側，所述限位槽（3）對稱開設在撕膜機主體（4）的上表面且位于工作平臺（1）的兩側，所述凹槽（5）開設在撕膜機主體（4）的上表面邊緣位置處且與控制蓋（6）的位置相對應，所述彈性墊片（10）安裝放置在凹槽（5）的內部，所述軸承（7）對稱安裝固定在控制蓋（6）的兩側，所述控制蓋（6）通過軸承（7）與撕膜機主體（4）的上表面連接且控制蓋（6）的下表面邊緣位置與凹槽（5）卡合，所述把手（9）安裝固定在控制蓋（6）的側面中間位置處，所述限位柱（11）對稱安裝固定在控制蓋（6）的下表面并放置在限位槽（3）的內部，所述控制蓋（6）的上表面設置有控制機構。

2.根據權利要求1所述的一種新型晶圓撕膜機，其特征在于：所述控制機構包括第一磁體（12）、第一固定槽（13）、第二磁體（14）、第二固定槽（15）和連接桿（16），所述第一固定槽（13）對稱開設在控制蓋（6）的上表面兩端，所述第一磁體（12）固定放置在第一固定槽（13）的內部并與第二磁體（14）相互吸引，所述第二磁體（14）固定放置在第二固定槽（15）的內部，所述第二固定槽（15）開設在連接桿（16）的側面，所述連接桿（16）對稱安裝在輔助殼（8）的側面且與第一固定槽（13）的位置相對應。

3.根據權利要求1所述的一種新型晶圓撕膜機，其特征在于：所述支撐機構包括支撐腿（17）、防震墊（18）、活動槽（19）和防滑墊（20），所述支撐腿（17）安裝固定在撕膜機主體（4）的下表面四角位置處并放置在活動槽（19）的內部，所述活動槽（19）開設在撕膜機主體（4）的下表面四角位置處，所述防震墊（18）放置在活動槽（19）的內部并與支撐腿（17）的頂端連接，所述防滑墊（20）套設在支撐腿（17）的底端表面。

4.根據權利要求2所述的一種新型晶圓撕膜機，其特征在于：所述連接桿（16）的一端與輔助殼（8）側面連接固定另一端設置有第二磁體（14），所述連接桿（16）通過第二磁體（14）與第一磁體（12）相互吸引和控制蓋（6）側面連接固定。

5.根據權利要求1所述的一種新型晶圓撕膜機，其特征在于：所述凹槽（5）的內部放置有彈性墊片（10），所述彈性墊片（10）的外表面與凹槽（5）的內表面貼合，所述彈性墊片（10）的內表面放置有控制蓋（6）下表面邊緣殼體，所述限位柱（11）的一端與限位槽（3）卡合另一端與控制蓋（6）的下表面連接固定。