[發明專利]一種使用兩種金屬的等電阻布線方法

有效

• 申請號: 201810718922.4
• 申請日: 2018-07-03
• 公開（公告）號: CN108959771B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 劉東;姜昊;張茂豐;楊祖聲;陸濤濤
• 申請（專利權）人: 北京華大九天軟件有限公司
• 主分類號: G06F30/39
• 分類號: G06F30/39;G06F30/392
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 王金雙

本發明提供了一種使用兩種金屬的等電阻布線方法，包括以下步驟：1）選取需要配線連接的兩組相互平行的端口；2）選擇兩種布線將要使用的金屬工藝，分別設置對應金屬的電阻參數；3）分別設置兩種金屬的電氣約束的幾何參數；4）根據電氣約束參數計算最省空間的布線彎折角度，進而完成每一根布線的完整路徑；5）設置連接兩種金屬的孔的參數；6）計算每一根布線中兩種金屬的過孔位置，并以孔為界，將布線路徑分割為兩種金屬連接。本發明可以在同等的平行端口情形下，突破單一金屬等電阻布線對空間占用的極限，可以節省將近一半的布線空間，同時還不失等電阻特性。

技術領域

本發明涉及平板顯示器版圖設計技術領域，特別涉及一種使用兩種金屬的等電阻布線方法，具體涉及一種平板顯示器版圖設計中平行端口之間的等電阻布線方法。

背景技術

平板顯示器版圖設計工具需要提供的一項重要的自動化工具就是布線。布線在版圖設計流程中占用重要的一環。好的布線策略可以最大限度地節省對版圖空間的占用，尤其是對極窄邊框和高屏占比需求越來越苛刻的當今社會具有舉足輕重的意義。

平板顯示器版圖設計中一種非常典型的布線場景就是位于兩組平行端口之間的布線。這兩種平行端口往往具有不同的端口間距，布線從端口較大的端口出發，采用各種策略選擇路徑，最終“匯聚”在端口小的一側，如附圖所示的布線形式，業內常稱這種典型的布線形式為“Fan Out”布線。

由此可見，在一定尺寸的曝光工藝限定下的最小線寬和線間距要求下，不同的布線策略對空間的占用情況和等電阻效果可以大相徑庭。在已有的版圖設計工具中，Fan Out形式布線經常采用的形式就是想法設法增大Fan Out中間區域的路徑長度，同時擴大外圍布線寬度的方式取得空間和電阻的平衡。

發明內容

為了解決現有技術存在的不足，本發明的目的在于提供一種使用兩種金屬布線方法，其可以在同等的平行端口情形下，突破單一金屬等電阻布線對空間占用的極限，可以節省將近一半的布線空間，同時還不失等電阻特性。在窄邊框和高屏占比要求下具有重要意義。

為實現上述目的，本發明提供的一種使用兩種金屬的等電阻布線方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)選取需要配線連接的兩組相互平行的端口；

2)選擇兩種布線將要使用的金屬工藝，分別設置對應金屬的電阻參數；

3)分別設置兩種金屬的電氣約束的幾何參數；

4)根據電氣約束參數計算最省空間的布線彎折角度，進而完成每一根布線的完整路徑；

5)設置連接兩種金屬的孔的參數；

6)計算每一根布線中兩種金屬的過孔位置，并以孔為界，將布線路徑分割為兩種金屬連接。

進一步地，所述布線，豎直段采用相同的金屬布線，彎折段布線采用另一種金屬布線，過孔換層設置在彎折段中點位置。

進一步地，在所述步驟1)選取需要配線連接的兩組相互平行的端口過程中，進一步包括記錄每一個端口的位置坐標信息。

進一步地，步驟2)中的所述對應金屬的電阻參數，包括：方塊電阻率和拐角電阻率。

進一步地，步驟3)所述的兩種金屬的電氣約束的幾何參數，包括：滿足曝光工藝的最小線寬和同層金屬的最小線間距、不同層金屬布線之間的最小間距。

進一步地，所述步驟4)進一步包括：

同層金屬之間的間距滿足設置的最小線間距；

不同層金屬之間的斜段相互重疊或者保持設置的不同金屬之間的線間距；

布線從端口間距大那一側出發的第一個拐點在一條水平線上。