[發明專利]涂膠顯影設備

有效

• 申請號: 201810710164.1
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN108873626B
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 張心杰;盧超
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/38;H01L21/677
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 劉小鶴

本申請公開了一種涂膠顯影設備，屬于機械技術領域。該涂膠顯影設備中的預烘烤單元與曝光單元通過目標傳輸單元連接，目標傳輸單元包括：依次設置的第一傳輸模塊和第二傳輸模塊，且第二傳輸模塊靠近曝光單元設置，預烘烤單元與第二傳輸模塊疊加設置；第一傳輸模塊用于將預烘烤單元處理后的基板傳輸至第二傳輸模塊，第二傳輸模塊用于將基板傳輸至曝光單元。本申請解決了預烘烤單元處理后的基板在曝光單元前堆積的問題，避免了預烘烤單元處理后的基板在曝光單元前堆積，本申請用于涂膠顯影設備。

技術領域

本申請涉及機械技術領域，特別涉及一種涂膠顯影設備。

背景技術

隨著電子時代的到來，液晶顯示器的需求量逐漸增大，而涂膠顯影設備是制作液晶顯示器的重要裝置。

涂膠顯影設備需要具有清洗、涂膠、干燥、烘烤、曝光和顯影等功能。現有的涂膠顯影設備通常包括用于實現上述多個功能的多個單元，例如：預烘烤單元用于實現烘烤功能，曝光單元用于實現曝光功能。

相關技術中由于設備場地限制，預烘烤單元與曝光單元之間的距離較短，因此，預烘烤單元處理后的基板較容易在曝光單元前堆積。

發明內容

本申請提供了一種涂膠顯影設備，可以解決預烘烤單元處理后的基板在曝光單元前堆積的問題，所述技術方案如下：

提供了一種涂膠顯影設備，所述涂膠顯影設備中的預烘烤單元與曝光單元通過目標傳輸單元連接，

所述目標傳輸單元包括：依次設置的第一傳輸模塊和第二傳輸模塊，且所述第二傳輸模塊靠近所述曝光單元設置，所述預烘烤單元與所述第二傳輸模塊疊加設置；

所述第一傳輸模塊用于將所述預烘烤單元處理后的基板傳輸至所述第二傳輸模塊，所述第二傳輸模塊用于將所述基板傳輸至所述曝光單元。

可選的，所述涂膠顯影設備包括：沿第一方向依次排布的第一設備組件、第二設備組件和第三設備組件；

所述第一設備組件包括：沿與所述第一方向垂直的第二方向依次排布的清洗單元、涂膠單元、第一傳輸單元和干燥單元；

所述第二設備組件包括：沿所述第二方向依次排布的第二傳輸單元、目標單元和所述曝光單元，其中，所述第二傳輸單元與所述清洗單元對應設置，所述目標單元包括：所述預烘烤單元、所述目標傳輸單元和第三傳輸單元，所述第三傳輸單元和所述預烘烤單元均疊加在所述第二傳輸模塊上，且所述預烘烤單元與所述曝光單元的距離大于所述涂膠單元與所述曝光單元的距離；

所述第三設備組件包括：沿所述第二方向依次排布的顯影單元和打碼單元；

所述第一傳輸單元用于將所述涂膠單元處理后的基板傳輸至所述干燥單元，以及將所述干燥單元處理后的基板傳輸至所述第三傳輸單元，所述第三傳輸單元用于將所述基板傳輸至所述預烘烤單元，所述第二傳輸模塊還用于將所述曝光單元處理后的基板傳輸至所述打碼單元，所述第二傳輸單元用于將所述顯影單元處理后的基板輸出所述涂膠顯影設備。

可選的，所述第一傳輸模塊包括：第一機械手，所述第二傳輸模塊包括：第一傳送帶和第二機械手，所述第二設備組件還包括：冷卻單元，所述冷卻單元與所述預烘烤單元沿所述第二方向依次排布，且所述冷卻單元、所述預烘烤單元以及所述第三傳輸單元均疊加在所述第一傳送帶上，所述冷卻單元用于對所述預烘烤單元處理后的基板進行冷卻處理；

所述第一機械手用于將所述冷卻單元處理后的基板傳輸至所述第一傳送帶，所述第一傳送帶用于將所述基板傳輸至所述第二機械手；

所述第二機械手用于將所述基板傳輸至所述曝光單元，以及將所述曝光單元處理后的所述基板傳輸至所述打碼單元。

可選的，所述第二設備組件還包括：第一緩存單元，