[發明專利]涂膠顯影設備

有效

• 申請號: 201810710164.1
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN108873626B
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 張心杰;盧超
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/38;H01L21/677
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 劉小鶴

1.一種涂膠顯影設備，其特征在于，所述涂膠顯影設備中的預烘烤單元與曝光單元通過目標傳輸單元連接，

所述目標傳輸單元包括：依次設置的第一傳輸模塊和第二傳輸模塊，所述第二傳輸模塊包括：第一傳送帶和第二機械手，所述第二機械手用于將基板傳輸至所述曝光單元，以及將所述曝光單元處理后的所述基板傳輸至打碼單元，且所述第二傳輸模塊靠近所述曝光單元設置，所述預烘烤單元疊加在所述第一傳送帶上；所述第一傳輸模塊包括：第一機械手，第二設備組件包括：冷卻單元，所述冷卻單元與所述預烘烤單元沿第二方向依次排布，且所述冷卻單元、所述預烘烤單元以及第三傳輸單元均疊加在所述第一傳送帶上，所述冷卻單元用于對所述預烘烤單元處理后的基板進行冷卻處理；所述第一機械手用于將所述冷卻單元處理后的基板傳輸至所述第一傳送帶，所述第一傳送帶用于將所述基板傳輸至所述第二機械手；所述冷卻單元、所述烘烤單元和所述第三傳輸單元沿所述第二方向依次設置；

所述第一傳輸模塊用于將所述預烘烤單元處理后的基板傳輸至所述第二傳輸模塊，所述第二傳輸模塊用于將所述基板傳輸至所述曝光單元；

所述涂膠顯影設備包括：沿第一方向依次排布的第一設備組件、所述第二設備組件和第三設備組件；

所述第一設備組件包括：沿與所述第一方向垂直的第二方向依次排布的清洗單元、涂膠單元、第一傳輸單元和干燥單元；

所述第二設備組件還包括：沿所述第二方向依次排布的第二傳輸單元、目標單元和所述曝光單元，其中，所述第二傳輸單元與所述清洗單元對應設置，所述目標單元包括：所述預烘烤單元、所述目標傳輸單元和所述第三傳輸單元，所述預烘烤單元與所述第三傳輸單元沿第二方向依次設置，所述第三傳輸單元和所述預烘烤單元均疊加在所述第一傳送帶上，且所述預烘烤單元與所述曝光單元的距離大于所述涂膠單元與所述曝光單元的距離；

所述第三設備組件包括：沿所述第二方向依次排布的顯影單元和打碼單元；

所述第一傳輸單元位于所述涂膠單元和所述干燥單元之間，所述第一傳輸單元用于將所述涂膠單元處理后的基板傳輸至所述干燥單元，以及將所述干燥單元處理后的基板傳輸至所述第三傳輸單元，所述第三傳輸單元用于將所述基板傳輸至所述預烘烤單元，所述第二傳輸模塊還用于將所述曝光單元處理后的基板傳輸至所述打碼單元，所述第二傳輸單元用于將所述顯影單元處理后的基板輸出所述涂膠顯影設備。

2.根據權利要求1所述的涂膠顯影設備，其特征在于，所述第二設備組件還包括：第一緩存單元，

所述第一緩存單元設置在所述第二傳輸單元和所述第一機械手之間，所述第一機械手還用于將所述冷卻單元處理后的基板傳輸至所述第一緩存單元，以及將所述第一緩存單元中的基板傳輸至所述第一傳送帶。

3.根據權利要求1或2所述的涂膠顯影設備，其特征在于，所述第一傳輸單元包括：第三機械手，所述第三傳輸單元包括：第一旋轉盤和第二傳送帶，且所述第二傳送帶與所述預烘烤單元連接；

所述第三機械手用于將所述涂膠單元處理后的基板傳輸至所述干燥單元，以及將所述干燥單元處理后的基板傳輸至所述第一旋轉盤；所述第一旋轉盤用于將基板旋轉90度，并將旋轉90度的基板傳輸至所述第二傳送帶；所述第二傳送帶用于將旋轉90度后的基板傳輸至所述預烘烤單元。

4.根據權利要求1所述的涂膠顯影設備，其特征在于，所述第一設備組件還包括：沿所述第一方向疊加設置的入口單元和出口單元，且所述入口單元設置在所述清洗單元遠離所述涂膠單元的一側，

所述入口單元用于向所述清洗單元輸入基板，所述第二傳輸單元用于將所述顯影單元處理后的基板傳輸至所述出口單元，以將所述基板輸出所述涂膠顯影設備。