[發明專利]一種檢測裝置、彩膜修復設備及檢測方法

有效

• 申請號: 201810708919.4
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN109030509B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 馮孟;李志賓;李鵬;劉大勇;孫瑞雪;李磊;姜根
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發明提供一種檢測裝置、彩膜修復設備及檢測方法，所述檢測裝置包括：承載臺；用于夾持待檢測產品，以對待檢測產品進行對位的對位夾具；用于將待檢測產品吸附固定于承載臺上的吸附單元；驅動單元，能夠在與承載臺的承載面垂直的豎直方向上，驅動對位夾具進行升降運動，在與承載臺的承載面平行的水平方向上，驅動對位夾具平移至第一對位位置和第二對位位置；以及，控制單元，與驅動單元連接，用于控制驅動單元的工作狀態，使驅動單元驅動對位夾具處于第一對位位置或第二對位位置，以使得待檢測產品能夠在水平方向上進行二次對位。本發明能夠解決現有技術中彩膜修復設備存在修復盲區的問題，可實現提升對待檢測產品的良率。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種檢測裝置、彩膜修復設備及檢測方法。

背景技術

液晶顯示面板在彩膜基板生產過程中，需要依次進行BM(黑矩陣)、R(紅色彩膜)、G(綠色彩膜)、B(藍色彩膜)、OC(平坦層)、PS(隔物墊)工藝，每段工藝在生產過程中都不可避免會產生微觀缺陷，缺陷會降低產品良率，因此，在每段工藝后利用彩膜修復設備對微觀不良進行修復可大幅提高產品良率。

現有彩膜修復設備修復方式為：BM工藝完成后進行Auto Laser修復(透射光源下修復)，R、G、B、OC工藝完成后，進行Auto Tape修復(反射光源下修復)，PS工藝完成后進行彩膜基板段所有不良判定(透、反射光源共同判定)。

現有彩膜修復設備主要采用反射式透射光源的彩膜修復設備，即，設備的承載臺采用鋁合金材料上鋪設玻璃板組成，外設反射光源，光源射出光線經過鋁合金材料反射后被圖像采集器捕捉，從而達到透射光效果。

現有彩膜修復設備的取放片為機械手(Robot)取放片形式，并通過對位夾具將彩膜基板在承載臺上進行一次對位(對位夾具的驅動氣缸為一段式氣缸)，然后進行修復。由于在承載臺上分布有支撐桿(Pin)孔位、真空吸附孔(VCD)孔位、玻璃板固定及承載臺平坦度調節螺孔等，對彩膜基板對位完成后，在承載臺上開孔位置，反射式透射光源無法正常工作，因此存在透射修復及判斷盲區，盲區面積占比為4.6％。

發明內容

本發明的目的在于提供一種檢測裝置、彩膜修復設備及檢測方法，能夠解決現有技術中彩膜修復設備存在修復盲區的問題，可實現提升對待檢測產品的良率。

本發明所提供的技術方案如下：

一種檢測裝置，包括：

用于承放待檢測產品的承載臺；

用于夾持所述待檢測產品，以對所述待檢測產品進行對位的對位夾具；

用于將所述待檢測產品吸附固定于所述承載臺上的吸附單元；

用于驅動所述對位夾具移動的驅動單元，所述驅動單元能夠在與所述承載臺的承載面垂直的豎直方向上，驅動所述對位夾具進行升降運動，并且，所述驅動單元能夠在與所述承載臺的承載面平行的水平方向上，驅動所述對位夾具平移至第一對位位置和第二對位位置；

以及，控制單元，與所述驅動單元連接，用于控制所述驅動單元的工作狀態，使所述驅動單元驅動所述對位夾具處于所述第一對位位置或所述第二對位位置，以使得所述待檢測產品能夠在所述水平方向上進行二次對位。

示例性的，所述承載臺的承載面包括相對的第一側和第二側，所述對位夾具包括基準夾具和推動夾具，所述基準夾具設置于所述承載臺的第一側，所述推動夾具設置于所述承載臺的第二側；

所述檢測裝置還包括：

用于獲取所述待檢測產品的當前位置信息的位置感應部件，所述位置感應部件至少包括設置在所述承載臺的承載面的所述第一側邊緣處的第一感應器、及設置在所述承載臺的承載面的所述第二側邊緣處的第二感應器；