[發明專利]一種檢測裝置、彩膜修復設備及檢測方法

有效

• 申請號: 201810708919.4
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN109030509B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 馮孟;李志賓;李鵬;劉大勇;孫瑞雪;李磊;姜根
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種檢測裝置，包括：

用于承放待檢測產品的承載臺；

用于夾持所述待檢測產品，以對所述待檢測產品進行對位的對位夾具；

用于將所述待檢測產品吸附固定于所述承載臺上的吸附單元；

其特征在于，所述檢測裝置還包括：

用于驅動所述對位夾具移動的驅動單元，所述驅動單元能夠在與所述承載臺的承載面垂直的豎直方向上，驅動所述對位夾具進行升降運動，并且，所述驅動單元能夠在與所述承載臺的承載面平行的水平方向上，驅動所述對位夾具平移至第一對位位置和第二對位位置；

以及，控制單元，與所述驅動單元連接，用于控制所述驅動單元的工作狀態，使所述驅動單元驅動所述對位夾具處于所述第一對位位置或所述第二對位位置，以使得所述待檢測產品能夠在所述水平方向上進行二次對位；

所述承載臺的承載面包括相對的第一側和第二側，所述對位夾具包括基準夾具和推動夾具，所述基準夾具設置于所述承載臺的第一側，所述推動夾具設置于所述承載臺的第二側；

所述檢測裝置還包括：

用于獲取所述待檢測產品的當前位置信息的位置感應部件，所述位置感應部件至少包括設置在所述承載臺的承載面的所述第一側邊緣處的第一感應器、及設置在所述承載臺的承載面的所述第二側邊緣處的第二感應器；

及，用于向所述承載臺的承載面上吹送氣體，以使所述待檢測產品浮起的氣浮單元，所述氣浮單元包括多個氣體通道，所述多個氣體通道從所述承載臺的承載面的所述第一側至所述第二側依次排列；所述多個氣體通道中的第一氣體通道的通氣量大于第二氣體通道的通氣量、所述第一氣體通道的通氣量小于所述第二氣體通道的通氣量、或者所述第一氣體通道的通氣量等于所述第二氣體通道的通氣量，其中，所述第一氣體通道為位于所述承載臺的承載面中心的靠近所述第一側所在一側的至少一個氣體通道，所述第二氣體通道為位于所述承載臺的承載面中心的靠近所述第二側所在一側的至少一個氣體通道；

所述控制單元還與所述位置感應部件、所述吸附單元及所述氣浮單元連接，用于接收所述位置感應部件所感應到的感應信息，以控制所述氣浮單元、所述吸附單元及所述驅動單元的工作狀態。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，

所述控制單元至少包括：

參數確定模塊，用于根據控制參數確定所述驅動單元的工作參數，所述驅動單元的工作參數包括所述對位夾具在所述豎直方向上的運動參數、所述對位夾具在所述水平方向上的第一對位位置參數、及所述對位夾具在所述水平方向上的第二對位位置參數，所述控制參數為用戶輸入的參數或預先存儲的參數；

接收模塊，用于接收所述位置感應部件的感應信息，得到所述待檢測產品的當前位置信息；

信號產生模塊，用于產生控制信號，所述控制信號包括根據所述待檢測產品的當前位置信息所產生的控制信號、及根據所述驅動單元的工作參數所產生的控制信號，所述待檢測產品的當前位置信息包括：所述待檢測產品位于向所述第一側所在一側偏移的位置、所述待檢測產品位于向所述第二側所在一側偏移的位置、或者所述待檢測產品位于所述第一側和所述第二側之間的預定非偏移位置；

氣浮控制模塊，用于根據所述控制信號，控制所述氣浮單元的工作狀態，所述氣浮單元的工作狀態包括：所述多個氣體通道中的第一氣體通道的通氣量大于第二氣體通道的通氣量、所述第一氣體通道的通氣量小于所述第二氣體通道的通氣量、或者所述第一氣體通道的通氣量等于所述第二氣體通道的通氣量；

驅動控制模塊，用于根據所述控制信號，控制所述驅動單元的工作狀態，所述驅動單元的工作狀態包括：驅動所述對位夾具上升、驅動所述對位夾具下降、驅動所述對位夾具平移至所述第一對位位置、或者驅動所述對位夾具平移至所述第二對位位置；

吸附控制模塊，用于根據所述控制信號，控制所述吸附單元開啟或關閉。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，

所述驅動單元包括：與所述對位夾具及所述控制單元連接的驅動氣缸，所述驅動氣缸為二段式氣缸；和/或，與所述對位夾具及所述控制單元連接的伺服電機。

4.一種彩膜修復設備，用于對彩膜基板進行檢測修復，其特征在于，所述彩膜修復設備包括如權利要求1至3任一項所述的檢測裝置，所述待檢測產品為彩膜基板。