[發(fā)明專利]氧化鎢薄膜的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810707265.3
• 申請(qǐng)日: 2018-07-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109100343A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙倩;張洪文;劉廣強(qiáng);蔡偉平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): G01N21/65
• 分類號(hào): G01N21/65
• 代理公司: 合肥和瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34118
• 代理人: 任崗生

1.一種氧化鎢薄膜的制備方法，包括液相還原法，其特征在于完成步驟如下：

步驟1，先將鎢酸銨粉末置于300-500℃下退火1-4h，得到三氧化鎢粉末，再按照三氧化鎢粉末和水的重量比為0.2-50：1-100的比例將兩者混合，得到三氧化鎢水溶液；

步驟2，先向三氧化鎢水溶液中加入硼氫化鈉，使硼氫化鈉在三氧化鎢水溶液中的濃度保持為0.5-5mol/L，反應(yīng)0.5-5h，得到反應(yīng)液，再對(duì)反應(yīng)液依次進(jìn)行固液分離、洗滌和干燥的處理，得到粉末狀中間產(chǎn)物；

步驟3，先將粉末狀中間產(chǎn)物分散于乙醇中，得到分散液，再將分散液涂敷于襯底上，制得膜厚為20-100μm的氧化鎢薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征是鎢酸銨粉末的粒徑為0.1-10μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征是固液分離處理為離心分離，其轉(zhuǎn)速為4000-6000r/min、時(shí)間為5-10min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征是洗滌處理為使用蒸餾水和乙醇對(duì)分離得到的固態(tài)物進(jìn)行2-3次的交替清洗，清洗時(shí)分離固態(tài)物為離心分離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征是干燥處理為將清洗后的固態(tài)物置于50-70℃下烘12-24h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征是涂敷為浸漬，或噴涂，或旋涂。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征是襯底為導(dǎo)體襯底，或半導(dǎo)體襯底，或絕緣體襯底。