[發(fā)明專利]互連線結(jié)構(gòu)、顯示基板及其制作方法、顯示裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810703265.6
• 申請(qǐng)日: 2018-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN108899328A
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡坤;李亞龍;喬貴洲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L27/32;H01L23/532;H01L21/768;B82Y30/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

本發(fā)明公開了一種互連線結(jié)構(gòu)、顯示基板及其制作方法、顯示裝置。所述互連線結(jié)構(gòu)具有相互連接的第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的應(yīng)力大于所述第一區(qū)域的應(yīng)力，所述第一區(qū)域包括導(dǎo)電線，所述第二區(qū)域包括納米金屬線，因納米金屬線不僅具有良好的導(dǎo)電性能，而且具有良好的延展性(耐彎折特性)，因此，所述互連線結(jié)構(gòu)在被彎折的過(guò)程中，納米金屬線不易發(fā)生斷裂，可以有效提高所述互連線結(jié)構(gòu)的力學(xué)可靠性。從而，將包括所述互連線結(jié)構(gòu)的顯示基板應(yīng)用于顯示裝置中，可以提高顯示裝置的可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種互連線結(jié)構(gòu)、顯示基板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術(shù)

柔性顯示裝置有自身強(qiáng)大的優(yōu)點(diǎn)，比如攜帶方便、可彎曲、可隨意變形等，目前柔性顯示技術(shù)越來(lái)越成熟，柔性屏幕也會(huì)逐漸走入人們的生活，而柔性移動(dòng)設(shè)備也會(huì)慢慢成為日常生活的主要工具，業(yè)界預(yù)測(cè)在不久的將來(lái)柔性移動(dòng)設(shè)備會(huì)逐漸取代傳統(tǒng)的移動(dòng)設(shè)備(手機(jī)、平板等)。

在柔性顯示裝置中，互連線結(jié)構(gòu)是柔性顯示裝置中的核心機(jī)構(gòu)之一，如薄膜晶體管陣列電極的互連線結(jié)構(gòu)、有機(jī)發(fā)光層電極的互連線結(jié)構(gòu)以及觸控面板中觸控電極的互連線結(jié)構(gòu)，所述互連線結(jié)構(gòu)用于現(xiàn)實(shí)電極間的電連通或電引出。然而，柔性顯示裝置的互連線結(jié)構(gòu)容易斷裂，導(dǎo)致柔性顯示裝置的失效。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種互連線結(jié)構(gòu)、顯示基板及其制作方法、顯示裝置，以提高互連線結(jié)構(gòu)的力學(xué)可靠性，從而提高顯示裝置的可靠性。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供的互連線結(jié)構(gòu)包括相互連接的第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的應(yīng)力大于所述第一區(qū)域的應(yīng)力，所述第一區(qū)域包括導(dǎo)電線，所述第二區(qū)域包括納米金屬線。

進(jìn)一步地，在所述的互連線結(jié)構(gòu)中，所述互連線結(jié)構(gòu)為折線結(jié)構(gòu)，所述第二區(qū)域位于折線的拐點(diǎn)處。

進(jìn)一步地，在所述的互連線結(jié)構(gòu)中，所述第二區(qū)域的應(yīng)力為所述第一區(qū)域的應(yīng)力的1.2倍以上。

可選地，在所述的互連線結(jié)構(gòu)中，所述第二區(qū)域的圖案為四邊形、五邊形、六邊形、圓弧形、V字形中的一種或多種，其中，所述V字形的夾角為直角、鈍角或者銳角。

可選地，在所述的互連線結(jié)構(gòu)中，所述導(dǎo)電線的材料包括金線、銀線或銅線，所述納米金屬線的材料包括納米銀線。

根據(jù)本發(fā)明的另一面，本發(fā)明還提供了一種顯示基板，包括基底以及設(shè)置在所述基底上的上述互連線結(jié)構(gòu)。

根據(jù)本發(fā)明的又一面，本發(fā)明還提供了一種包括上述顯示基板的顯示裝置。

根據(jù)本發(fā)明的再一面，本發(fā)明還提供了一種顯示基板的制作方法，包括：

提供一基底；

在所述基底上形成互連線結(jié)構(gòu)，所述互連線結(jié)構(gòu)具有相互連接的第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的應(yīng)力大于所述第一區(qū)域的應(yīng)力；其中，

在所述基底上導(dǎo)電線圖案，所述導(dǎo)電線圖案構(gòu)成所述互連線結(jié)構(gòu)的第一區(qū)域；以及，

在所述基底上形成納米金屬線圖案，所述納米金屬線圖案與所述導(dǎo)電線圖案相連通，所述納米金屬線圖案構(gòu)成所述互連線結(jié)構(gòu)的第二區(qū)域。

進(jìn)一步地，在所述基底上形成導(dǎo)電線圖案的步驟包括：在所述基底上形成一金屬薄膜；刻蝕所述金屬薄膜以形成所述導(dǎo)電線圖案。

進(jìn)一步地，在所述基底上形成納米金屬線圖案的步驟包括：涂布一納米金屬層，所述納米金屬層覆蓋所述導(dǎo)電線圖案和暴露的所述基底；去除部分納米金屬層以形成所述納米金屬線圖案。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果：