[發明專利]氣體傳輸系統與方法

在審

• 申請號: 201810701035.6
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN110657346A
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 涂宏彬
• 申請（專利權）人: 涂宏彬
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D1/075;F17D3/01;F17D3/18
• 代理公司: 11228 北京匯澤知識產權代理有限公司
• 代理人: 程殿軍

本發明提供一種氣體傳輸系統與方法。該系統主要包含：一氣瓶；一電子式質量流量控制器，連接該氣瓶，用以控制該氣瓶內的一氣體輸出量；一電子式質量流量計，經由一管路連接該電子式質量流量控制器，用以偵測該氣體傳輸系統最終出口的一氣體使用量；一控制器，電性連接該電子式質量流量控制器與該電子式質量流量計，用以調整該電子式質量流量控制器的該氣體輸出量。本發明的氣體傳輸系統與方法可以有效提升氣瓶中低揮發蒸氣壓制程氣體的輸出量。

技術領域

本發明是有關于一種氣體傳輸系統與方法，特別是有關于一種使用電子式質量流量控制器與電子式質量流量計的氣體傳輸系統與方法，可以有效提升氣瓶中低揮發蒸氣壓制程氣體的輸出量。

背景技術

在半導體制程（工藝）中，大部分的制程都需要各種不同氣體的供應，所以在半導體的制程設備中，皆需要有氣體輸送設備來傳輸所需要的制程氣體(processing gases)。傳統的半導體氣體供應設備使用典型氣瓶柜(gas cabinet)，內部設計系以鋼瓶結合多種控制閥，包括手閥(manual valve)、氣動閥(pneumatic valve)、以及調壓閥(pressureregulator)來完成氣體輸送的流量與壓力控制，經由多閥管路的分配與輸送，將相關的制程氣體輸送至使用端機臺中以便進行相關制程。然而，設計對于低揮發蒸氣壓制程氣體，例如SiH2Cl2、WF6,、HF、Cl2、Si2H6等，由于調壓閥會限制了低揮發蒸氣壓制成氣體的輸出流量，會造成供應氣體使用量上的限制。

為了解決上述問題，有需要提供一種氣體傳輸系統，能提升氣瓶中低揮發蒸氣壓制程氣體的輸出量，以克服先前技術的缺點。

發明內容

本發明的主要目的在于提出一氣體傳輸系統，有關于一種使用電子式質量流量控制器與電子式質量流量計的氣體傳輸系統，可以有效提升氣瓶中低揮發蒸氣壓制程氣體的輸出量，能產生穩定且高品質的低揮發蒸氣壓制程氣體來改善后段制程系統的制程品質。

本發明的另一目的在于提出一氣體傳輸方法，借由連接該氣瓶的該電子式質量流量控制器，控制該氣瓶內的一氣體輸出量，并借由連接該電子式質量流量控制器的該電子式質量流量計，偵測該氣體傳輸系統最終出口的一氣體使用量，該方法可以有效提升氣瓶中低揮發蒸氣壓制程氣體的輸出量，能產生穩定且高品質的低揮發蒸氣壓制程氣體來改善后段制程系統的制程品質。

為達本發明的主要目的，本發明提供一氣體傳輸系統，主要包含：一氣瓶；一電子式質量流量控制器，連接該氣瓶，用以控制該氣瓶內的一氣體輸出量；一電子式質量流量計，經由一管路連接該電子式質量流量控制器，用以偵測該氣體傳輸系統最終出口的一氣體使用量，輸出量根據使用量的電子信號反饋；一控制器，電性連接該電子式質量流量控制器與該電子式質量流量計，用以調整該電子式質量流量控制器的該氣體輸出量。

根據本發明的一特征，該氣體使用量經由一電子信號反饋給該控制器。

根據本發明的一特征，該控制器調整該電子式質量流量控制器的該氣體輸出量，使得該氣體輸出量與該電子式質量流量計偵測到的該氣體使用量的差距在一范圍內。

根據本發明的一特征，該電子式質量流量控制器為數字式且該電子式質量流量計為數字式。

根據本發明的一特征，該電子式質量流量計的一輸出端，連接數個制程系統。

根據本發明的一特征，還包含一壓力感測器，連接于該電子式質量流量計與該些制程系統之間。

為達本發明的另一目的，本發明提供一氣體傳輸方法，使用一氣體傳輸系統，該系統包含一氣瓶、一電子式質量流量控制器、一電子式質量流量計與一控制器，該氣體傳輸方法主要包含下列步驟：

借由連接該氣瓶的該電子式質量流量控制器，控制該氣瓶內的一氣體輸出量；

借由連接該電子式質量流量控制器的該電子式質量流量計，偵測該氣體傳輸系統最終出口的一氣體使用量；