[發(fā)明專利]氣體傳輸系統(tǒng)與方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810701035.6 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN110657346A | 公開（公告）日： | 2020-01-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 涂宏彬 | 申請（專利權(quán)）人： | 涂宏彬 |
| 主分類號： | F17C13/00 | 分類號： | F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D1/075;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 11228 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 程殿軍 |
| 地址： | 中國臺灣臺北*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電子式 質(zhì)量流量控制器 氣體傳輸系統(tǒng) 輸出量 氣瓶 質(zhì)量流量計 氣體使用量 電性連接 管路連接 控制器 低揮發(fā) 偵測 壓制 出口 | ||
1.一種氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于：
一氣瓶；
一電子式質(zhì)量流量控制器，連接該氣瓶，用以控制該氣瓶內(nèi)的一氣體輸出量；
一電子式質(zhì)量流量計，經(jīng)由一管路連接該電子式質(zhì)量流量控制器，用以偵測該氣體傳輸系統(tǒng)最終出口的一氣體使用量；
一控制器，電性連接該電子式質(zhì)量流量控制器與該電子式質(zhì)量流量計，用以調(diào)整該電子式質(zhì)量流量控制器的該氣體輸出量。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，該氣體使用量經(jīng)由一電子信號反饋給該控制器。
3.如權(quán)利要求1或2所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，該控制器調(diào)整該電子式質(zhì)量流量控制器的該氣體輸出量，使得該氣體輸出量與該電子式質(zhì)量流量計偵測到的該氣體使用量的差距在一范圍內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，該范圍為1公升/分鐘至2 公升/分鐘。
5.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，該電子式質(zhì)量流量控制器為一數(shù)字式電子式質(zhì)量流量控制器。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，該電子式質(zhì)量流量計為一數(shù)字式電子式質(zhì)量流量計。
7.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，該電子式質(zhì)量流量計的一輸出端，連接數(shù)個制程系統(tǒng)。
8.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，還包含一壓力感測器，連接于該電子式質(zhì)量流量計與該些制程系統(tǒng)之間。
9.如權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，還包含一加熱元件，披覆在該氣瓶的外部，用以加熱該氣瓶。
10.如權(quán)利要求9所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，還包含一加熱控制器，電性連接于該控制器與該氣瓶之間，用以調(diào)整該加熱元件的一加熱溫度。
11.一種氣體傳輸方法，使用一氣體傳輸系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含一氣瓶、一電子式質(zhì)量流量控制器、一電子式質(zhì)量流量計與一控制器，該氣體傳輸方法主要包含下列步驟：
借由連接該氣瓶的該電子式質(zhì)量流量控制器，控制該氣瓶內(nèi)的一氣體輸出量；
借由連接該電子式質(zhì)量流量控制器的該電子式質(zhì)量流量計，偵測該氣體傳輸系統(tǒng)最終出口的一氣體使用量；
借由電性連接該電子式質(zhì)量流量控制器與該電子式質(zhì)量流量計的該控制器，調(diào)整該電子式質(zhì)量流量控制器的該氣體輸出量。
12.如權(quán)利要求11所述的氣體傳輸方法，其特征在于，該氣體使用量經(jīng)由一電子信號反饋給該控制器。
13.如權(quán)利要求11或12所述的氣體傳輸方法，其特征在于，該控制器調(diào)整該電子式質(zhì)量流量控制器的該氣體輸出量，使得該氣體輸出量與該電子式質(zhì)量流量計偵測到的該氣體使用量的差距在一范圍內(nèi)。
14.如權(quán)利要求13所述的氣體傳輸方法，其特征在于，該范圍為1公升/分鐘至2 公升/分鐘。
15.如權(quán)利要求11所述的氣體傳輸方法，其特征在于，該電子式質(zhì)量流量控制器為一數(shù)字式電子式質(zhì)量流量控制器。
16.如權(quán)利要求11所述的氣體傳輸方法，其特征在于，該電子式質(zhì)量流量計為一數(shù)字式電子式質(zhì)量流量計。
17.如權(quán)利要求11所述的氣體傳輸方法，其特征在于，還包含下列步驟：
借由披覆在該氣瓶外部的一加熱元件，加熱該氣瓶。
18.如權(quán)利要求17所述的氣體傳輸方法，其特征在于，還包含下列步驟：
借由電性連接于該控制器與該氣瓶之間的一加熱控制器，調(diào)整該加熱元件的一加熱溫度。
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