[發(fā)明專利]基板傳送裝置及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810698915.2
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN109019023B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李世龍
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

1.一種基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置包括：

磁性基座，所述磁性基座包括用于產(chǎn)生磁場的電磁單元以及連接所述電磁單元的傾斜裝置，所述電磁單元包括基座本體和環(huán)繞在所述基座本體外圍的磁感線圈，所述傾斜裝置連接所述磁感線圈；

磁性承接盤，所述磁性承接盤位于所述電磁單元一側(cè)的所述磁場中，所述磁性承接盤用于放置待傳送基板，并在所述電磁單元產(chǎn)生所述磁場時相對所述磁性基座懸浮；

所述傾斜裝置帶動所述電磁單元中的所述磁感線圈沿預(yù)定角度進行傾斜，所述預(yù)定角度的角度范圍為以水平面為基準，上下45度的角度范圍，改變所述磁場方向，以使所述磁性承接盤相對于所述磁性基座沿預(yù)定方向運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述基座本體的頂面朝向所述磁性承接盤，其側(cè)面的外圍環(huán)繞有所述磁感線圈。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置還包括電流控制器，所述電流控制器連通所述磁感線圈與外部電源，用于控制所述磁感線圈中電流的大小。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述電磁單元的鋪設(shè)長度不小于所述待傳送基板移送的長度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述預(yù)定角度的范圍為大于0度且不大于90度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述傾斜裝置為伺服電機，所述伺服電機的輸出端為連接桿，所述連接桿連接所述磁感線圈，且?guī)铀龃鸥芯€圈沿所述預(yù)定角度進行運動。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述伺服電機設(shè)置有兩個，分別設(shè)置于所述基座本體的相對兩側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述連接桿與所述磁感線圈轉(zhuǎn)動連接。

9.一種基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述基板傳送系統(tǒng)包括權(quán)利要求1～8任一項所述的基板傳送裝置。