[發明專利]傳感器、掩模板叉、機械手、掩模板傳輸系統及光刻機

有效

• 申請號: 201810696848.0
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN110658685B
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 唐文力;朱俊宇;吳芬;鄭教增;吳錢忠;祝玥華
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種傳感器，其特征在于，包括穩壓模塊、光電感應模塊、信號放大模塊以及信號檢測模塊；

所述穩壓模塊與所述光電感應模塊和所述信號放大模塊電連接，用于為所述光電感應模塊和所述信號放大模塊提供恒定電壓；

所述光電感應模塊用于探測目標物體是否到達設定區域；

所述信號放大模塊與所述光電感應模塊電連接，用于對所述光電感應模塊輸出的信號進行放大；

所述信號檢測模塊與所述穩壓模塊和所述信號放大模塊均電連接，用于基于所述信號放大模式輸出的信號判斷所述傳感器的當前工作狀態，所述當前工作狀態包括開路、短路、正常觸發以及未觸發。

2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述穩壓模塊包括運算處理單元，第一晶體管單元，參考電壓單元、第一電阻和第二電阻，

所述第一晶體管單元的第一輸入端與所述運算處理單元輸出端電連接，所述第一晶體管單元的第二輸入端與所述穩壓模塊的信號輸入端電連接，所述第一晶體管單元的輸出端與所述第一電阻的第一端和所述穩壓模塊的信號輸出端電連接；

所述運算處理單元正輸入端與所述第一電阻的第二端和所述第二電阻的第一端均電連接；

所述參考電壓單元的第一輸入端與所述穩壓模塊的信號輸入端電連接，所述參考電壓單元的第二輸入端和所述第二電阻的第二端均接地，所述參考電壓單元輸出端與所述運算處理單元負輸入端電連接。

3.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述光電感應模塊包括發光單元和感光單元；

所述發光單元和所述感光單元均與所述穩壓模塊的信號輸出端電連接；

所述感光單元用于接收，由所述發光單元出射，經所述目標物體反射的光線。

4.根據權利要求3所述的傳感器，其特征在于，

所述發光單元包括發光二極管單元，所述感光單元包括光敏晶體管單元；所述光電感應模塊還包括第三電阻；

所述發光二極管單元的輸入端與所述第三電阻的第一端電連接，所述發光二極管單元的輸出端接地；

所述光敏晶體管單元的輸入端與所述第三電阻的第二端、以及所述光電感應模塊的信號輸入端電連接，所述光敏晶體管單元的輸出端與所述光電感應模塊的信號輸出端電連接。

5.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述信號放大模塊包括第三晶體管單元、第四晶體管單元、可調電阻單元、第四電阻、第五電阻和第六電阻；

所述信號放大單元的信號輸出端與所述第六電阻的第一端電連接，所述信號放大模塊的第一信號輸入端與所述第五電阻的第一端電連接，所述信號放大模塊第二信號輸入端與所述第四電阻的第一端電連接；所述可調電阻單元的第一端接地；

所述第三晶體管單元的第一輸入端與所述可調電阻單元的第二端和所述第四電阻的第二端均電連接，所述第三晶體管單元的輸出端接地，所述第三晶體管單元的輸出端與所述第五電阻的第二端電連接；

所述第四晶體管單元的第一輸入端與所述第三晶體管單元的第二輸入端電連接，所述第四晶體管單元的輸出端接地，所述第四晶體管單元的第二輸入端與所述第六電阻的第二端電連接。

6.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述信號檢測模塊包括信號處理單元和結果判定單元；

所述信號處理單元與所述穩壓模塊和所述信號放大模塊均電連接，用于對所述信號放大模塊輸出的信號進行處理，并得到信號處理結果；

所述結果判定單元與所述信號處理單元相連，用于基于所述信號處理結果，對所述傳感器的當前工作狀態進行識別。