[發明專利]三極管式電離真空計和壓力測定方法

在審

• 申請號: 201810694986.5
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN109238559A
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發明（設計）人: 宮下剛;中島豐昭;福原萬沙洋;佐藤貴伸
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: G01L21/32
• 分類號: G01L21/32;G01L27/00
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

本發明提供一種能夠正確地對測定對象物的內部的壓力進行測定的三極管式電離真空計。本發明所涉及的三極管式電離真空計具有燈絲、柵網和離子收集極。所述柵網配置在所述燈絲的周圍。所述離子收集極為筒狀，配置在所述柵網的周圍，并由300K時的熱導率為173W/(m·K)以上的材料構成。

技術領域

本發明涉及三極管式電離真空計等技術。

背景技術

真空處理裝置具有通過濺射、蒸鍍進行成膜等的真空腔室。由于該真空腔室內的壓力會對產品成品率帶來很大的影響，所以需要正確地測定真空腔室內的壓力。作為高精度地對真空腔室內的壓力中的1Pa～10^-6Pa的范圍的壓力進行測定的裝置，已知有三極管式電離真空計。

三極管式電離真空計通常具有發針形狀(倒V字狀)的燈絲、配置在燈絲的周圍的螺旋狀的柵網、和與柵網同軸地配置在柵網的周圍的圓筒狀的離子收集極。向柵網施加比燈絲高的電壓(正電壓)，向離子收集極施加比柵網低的電壓。

當燈絲被通電時，從燈絲(燈絲的頂部附近)輻射熱電子，該熱電子朝向柵網被加速，并被柵網捕捉。熱電子的一部分在柵網的附近與三極管式電離真空計的內部飛散的氣體分子進行碰撞，由此氣體分子被離子化。

離子化的氣體分子(正離子)被離子收集極吸引而與離子收集極碰撞，并從離子收集極接收電子。由于離子化的氣體分子從離子收集極接收電子，在離子收集極中產生離子電流。由于該離子電流的值與在三極管式電離真空計的內部飛散的氣體分子的量成比例，所以能夠通過對離子電流的值進行測定，從而對安裝有三極管式電離真空計的測定對象物(例如，真空處理裝置)的內部的壓力進行測定。

在此，如下述專利文獻1、2所記載的那樣，在氣體分子(正離子)向離子收集極的表面碰撞時，有時氣體分子吸附(例如物理吸附、化學吸附)在離子收集極的表面而形成分子層(物理吸附層、化學吸附層)。

在離子收集極中的軸向上的中央附近的區域為正離子的碰撞概率高的區域，通過正離子在該區域持續地碰撞，盡可能從分子層釋放中性碎片分子、中性原子或它們的離子等粒子。因此，在離子收集極中的軸向上的中央附近的區域成為分子層難以堆積的區域。另一方面，在離子收集極中的軸向上的兩端部附近的區域為正離子的碰撞概率低的區域，由于正離子不持續地碰撞，所以成為正離子容易堆積為分子層的區域。

另外，作為與本申請相關的技術，列舉了以下的專利文獻3以及專利文獻4。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2016/151997號；

專利文獻2：國際公開第2016/139894號；

專利文獻3：日本特開2006-343305號公報；

專利文獻4：日本特開平5-66170號公報。

發明要解決的課題

由于在離子收集極中的軸向上的兩端部附近所形成的分子層等的影響，存在不能夠正確地對測定對象物的內部的壓力進行測定的問題。

發明內容

鑒于以上情況，本發明的目的在于提供能夠正確地對測定對象物的內部的壓力進行測定的三極管式電離真空計。

用于解決課題的方案

為了達成上述目的，本發明所涉及的三極管式電離真空計具有燈絲、柵網、和離子收集極。所述柵網配置在所述燈絲的周圍。所述離子收集極為筒狀，配置在所述柵網的周圍，由300K時的熱導率為173W/(m·K)以上的材料構成。