[發明專利]三極管式電離真空計和壓力測定方法在審
| 申請號： | 201810694986.5 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN109238559A | 公開（公告）日： | 2019-01-18 |
| 發明（設計）人： | 宮下剛;中島豐昭;福原萬沙洋;佐藤貴伸 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | G01L21/32 | 分類號： | G01L21/32;G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;劉繼富 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電離真空計 三極管式 柵網 燈絲 測定對象物 離子收集極 離子收集 壓力測定 熱導率 配置 筒狀 | ||
【權利要求書】：
1.一種三極管式電離真空計，具有：
燈絲；
柵網，其配置在所述燈絲的周圍；以及
離子收集極，其為筒狀，配置在所述柵網的周圍，并由300K時的熱導率為173W/(m·K)以上的材料構成。
2.如權利要求1所述的三極管式電離真空計，其中，
對所述燈絲的供電功率為4W以下。
3.如權利要求1或2所述的三極管式電離真空計，其中，
還具有支承構件，所述支承構件對所述離子收集極進行支承，并由熱導率比構成所述離子收集極的材料低的材料構成。
4.如權利要求1或2所述的三極管式電離真空計，其中，
還具有收容部，所述收容部由金屬材料構成，并將所述燈絲、所述柵網以及所述離子收集極收容在內部。
5.一種壓力測定方法，包括以下步驟：
準備三極管式電離真空計，所述三極管式電離真空計具有燈絲、配置在所述燈絲的周圍的柵網、以及配置在所述柵網的周圍、并由300K時的熱導率為173W/(m·K)以上的材料構成的離子收集極，所述離子收集極為筒狀；以及
通過所述三極管式電離真空計對測定對象物的內部的壓力進行測定。
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