[發(fā)明專利]振動元件及其頻率調(diào)整方法、振子、電子設備和移動體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810694946.0
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN109217824B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發(fā)明（設計）人: 山口啟一;小倉誠一郎;押尾政宏;西澤龍?zhí)?/a>
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03B5/36
• 分類號: H03B5/36;H03B5/32;H01L23/12
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;李慶澤

振動元件及其頻率調(diào)整方法、振子、電子設備和移動體。抑制振動泄漏，使飛沫難以殘留。該振動元件的頻率調(diào)整方法具有以下步驟：準備振動元件，該振動元件具有：振動臂；第1施重部，其配置于所述振動臂的一個主面；以及第2施重部，其配置于所述振動臂的另一個主面，在從所述主面的法線方向俯視時，所述第1施重部具有不與所述第2施重部重疊的非重疊區(qū)域；準備具有布線部的基板，將所述振動元件的所述另一個主面?zhèn)瘸蛩龌鍌?cè)而將所述振動元件固定于所述基板；以及從所述一個主面?zhèn)认蛩龅?施重部的所述非重疊區(qū)域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重疊區(qū)域的一部分，調(diào)整所述振動臂的諧振頻率。

技術領域

本發(fā)明涉及振動元件的頻率調(diào)整方法、振動元件、振子、電子設備和移動體。

背景技術

例如，在專利文獻1中記載了壓電器件，該壓電器件具有：音叉型的振動片，其具有一對振動臂；以及封裝，其收納該振動片。此外，在振動臂的雙面上設置有頻率調(diào)整用的施重部。在這種壓電器件中，在將振動片固定于封裝的狀態(tài)下，從上方朝施重部照射激光，去除施重部的一部分，由此，進行振動片的驅(qū)動頻率的調(diào)整。

專利文獻1：日本特開2006-311444號公報

但是，在專利文獻1所記載的振動片中，由于在振動臂的雙面設置有施重部，因此，當照射激光時，不僅去除了振動臂的上表面(與封裝的底面相反側(cè)的面)的施重部，也去除了下表面(封裝的底面?zhèn)鹊拿?的施重部。振動臂的下表面與封裝的底面相對，因此，從下表面的施重部揮發(fā)的飛沫(渣滓)容易附著于封裝的底面。在封裝的底面引繞有布線，當所述飛沫附著在封裝的底面上時，可能產(chǎn)生布線之間的短路、或不期望的寄生電容，壓電器件的電特性惡化。此外，當臨時附著在封裝上的飛沫由于撞擊等而脫離并再次附著于振動片時，還可能發(fā)生電極彼此間的短路，或者，振動特性由于質(zhì)量的變化而惡化。

此外，在專利文獻1的振動片中，配置于振動臂的上表面的施重部和配置于下表面的施重部的厚度(質(zhì)量)不同，因此，振動臂的重心從振動臂的厚度方向的中心偏移。因此，在驅(qū)動時，振動臂還會在表面外(振動臂的厚度方向上)振動，振動泄漏可能變大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供抑制振動泄漏且飛沫不易殘留的振動元件的頻率調(diào)整方法、振動元件、振子、電子設備和移動體。

本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，可作為以下應用例實現(xiàn)。

本發(fā)明的振動元件的頻率調(diào)整方法的特征在于，具有以下步驟：準備振動元件，該振動元件具有：振動臂；第1施重部，其配置于所述振動臂的一個主面；以及第2施重部，其配置于所述振動臂的另一個主面，在從所述主面的法線方向俯視時，所述第1施重部具有不與所述第2施重部重疊的非重疊區(qū)域；準備具有布線部的基板，將所述振動元件的所述另一個主面?zhèn)瘸蛩龌鍌?cè)而將所述振動元件固定于所述基板；以及從所述一個主面?zhèn)认蛩龅?施重部的所述非重疊區(qū)域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重疊區(qū)域的一部分，調(diào)整所述振動臂的諧振頻率。

由此，能夠提供抑制振動泄漏且使飛沫難以殘留的振動元件的頻率調(diào)整方法。

在本發(fā)明的振動元件的頻率調(diào)整方法中，優(yōu)選的是，在所述準備的步驟中所準備的所述振動元件中，所述第1施重部在所述俯視時配置于包含所述振動臂的寬度方向的中央的位置處。

由此，容易向第1施重部照射能量束。

在本發(fā)明的振動元件的頻率調(diào)整方法中，優(yōu)選的是，在所述準備的步驟中所準備的所述振動元件中，所述第2施重部在所述俯視時配置于包含夾著所述振動臂的寬度方向的中央的兩側(cè)部的位置處。

由此，容易在第1施重部上形成非重疊區(qū)域。

在本發(fā)明的振動元件的頻率調(diào)整方法中，優(yōu)選的是，在所述準備的步驟中，所述第1施重部的質(zhì)量大于所述第2施重部的質(zhì)量。

由此，容易取得能量束照射后的第1施重部與第2施重部的質(zhì)量平衡。