[發明專利]振動元件及其頻率調整方法、振子、電子設備和移動體

有效

• 申請號: 201810694946.0
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN109217824B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 山口啟一;小倉誠一郎;押尾政宏;西澤龍太
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03B5/36
• 分類號: H03B5/36;H03B5/32;H01L23/12
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;李慶澤

1.一種振動元件的頻率調整方法，其特征在于，具有以下步驟：

準備振動元件，該振動元件具有：振動臂；第1施重部，其配置于所述振動臂的一個主面；以及第2施重部，其配置于所述振動臂的與所述一個主面相反一側的另一個主面，在從所述一個主面和所述另一個主面的法線方向俯視時，所述第1施重部具有不與所述第2施重部重疊的非重疊區域；

準備具有布線部的基板，將所述振動元件的所述另一個主面側朝向所述基板側而將所述振動元件固定于所述基板；以及

從所述一個主面側向所述第1施重部的所述非重疊區域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重疊區域的一部分，調整所述振動臂的諧振頻率，

在所述調整的步驟中，在從所述振動臂的橫截面觀察時設所述振動臂的厚度為T、由所述第1施重部及所述第2施重部構成的施重部的重心與所述振動臂的重心在所述振動臂的厚度方向上的隔開距離為D的情況下，以滿足0≤D≤0.2T的關系的方式去除所述第1施重部的一部分。

2.根據權利要求1所述的振動元件的頻率調整方法，其中，

在所述準備的步驟中所準備的所述振動元件中，所述第1施重部在所述俯視時配置于包含所述振動臂的寬度方向的中央的位置處。

3.根據權利要求1或2所述的振動元件的頻率調整方法，其中，

在所述準備的步驟中所準備的所述振動元件中，所述第2施重部在所述俯視時配置于包含夾著所述振動臂的寬度方向的中央的兩側部的位置處。

4.根據權利要求1所述的振動元件的頻率調整方法，其中，

在所述準備的步驟中，所述第1施重部的質量大于所述第2施重部的質量。

5.一種振動元件，其特征在于，其具有：

基部；

振動臂，其從基部朝第1方向延伸；

第1施重部，其配置于所述振動臂的一個主面；以及

第2施重部，其配置于所述振動臂的與所述一個主面相反一側的另一個主面，

在從所述一個主面和所述另一個主面的法線方向俯視時，所述第1施重部在包含所述振動臂的寬度方向的中央的位置處具有不與所述第2施重部重疊的非重疊區域，

在從所述振動臂的橫截面觀察時設所述振動臂的厚度為T、由所述第1施重部及所述第2施重部構成的施重部的重心與所述振動臂的重心在所述振動臂的厚度方向上的隔開距離為D的情況下，滿足0≤D≤0.2T的關系。

6.根據權利要求5所述的振動元件，其中，

所述第1施重部和所述第2施重部是在第2方向上的尺寸比所述基部側大的擴寬部，并且被設置于與所述基部相反側的末端區域，所述第2方向是與所述振動臂的所述第1方向正交并與所述一個主面和所述另一個主面平行的方向，

所述第1施重部的所述第2方向上的長度和所述第2施重部的所述第2方向上的長度中的至少一方為所述擴寬部的所述第2方向的長度的1/2以上。

7.一種振子，其特征在于，其具有：

權利要求5或6所述的振動元件；以及

封裝，其收納所述振動元件。

8.一種電子設備，其特征在于，其具有權利要求5或6所述的振動元件。

9.一種移動體，其特征在于，其具有權利要求5或6所述的振動元件。