[發(fā)明專利]基于飛秒激光制備空心球形粉末的裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810693460.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN108480653A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高雪松;劉爽;肖猛;張濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): B22F9/12
• 分類號(hào): B22F9/12;B22F9/04;B22F1/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 吳海燕

1.一種基于飛秒激光制備空心球形粉末的裝置，其特征在于：包括工作箱(2)，工作箱(2)內(nèi)儲(chǔ)存工作液(1)，工作箱(2)底部放置石英玻璃板(7)，金屬塊(8)置于石英玻璃板(7)上，隔水透氣膜(3)封于石英玻璃板(7)上，將金屬塊(8)包覆，使其與工作液(1)處于零接觸狀態(tài)，超聲波振動(dòng)儀(4)對(duì)稱設(shè)置于工作箱(2)兩側(cè)，飛秒激光器(5)置于工作箱(2)體外下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于飛秒激光制備空心球形粉末的裝置，其特征在于：所述金屬塊為銅、鎳基合金、鐵基合金、鈷基合金或316不銹鋼。

3.一種基于飛秒激光制備空心球形粉末的方法，其特征在于：包括步驟：

(1)開啟超聲波振動(dòng)儀；

(2)觀察工作液振動(dòng)情況，產(chǎn)生大量微米級(jí)氣泡時(shí)，開啟飛秒激光器；

(3)飛秒激光器發(fā)射脈沖激光，激光束透過石英玻璃板到達(dá)金屬塊表面，金屬塊表面氣化，金屬氣體透過隔水透氣膜到達(dá)工作液中，金屬氣體從下至上逐漸包覆微米氣泡，形成微米級(jí)空心球金屬；

(4)工作結(jié)束后，對(duì)工作液進(jìn)行干燥烘干處理得到微米級(jí)空心球金屬粉末。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于飛秒激光制備空心球形粉末的方法，其特征在于：所述超聲波頻率設(shè)置為20KHz-100KHz。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于飛秒激光制備空心球形粉末的方法，其特征在于：所述飛秒激光器脈沖寬度設(shè)置為400fs-700fs。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于飛秒激光制備空心球形粉末的方法，其特征在于：所述工作液為煤油或去離子水。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于飛秒激光制備空心球形粉末的方法，其特征在于：所述得到的粉末粒度為20um-100um。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于飛秒激光制備空心球形粉末的方法，其特征在于：所述金屬塊為銅、鎳基合金、鐵基合金、鈷基合金或316不銹鋼。