[發明專利]硅片分片機

在審

• 申請號: 201810690241.1
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN108538965A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 張喜;唐亮;季威
• 申請（專利權）人: 揚州協鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本發明涉及一種硅片分片機，包括工作平臺、夾持機構、側端吸盤、頂端吸盤，所述工作平臺的工作平面上設有用于承載硅片花籃的硅片花籃承載區，所述夾持機構位于所述工作平臺的工作平面上方，所述側端吸盤位于所述工作平臺上的硅片花籃承載區的一側，所述頂端吸盤位于所述工作平臺上的硅片花籃承載區的上方，所述側端吸盤和頂端吸盤在工作時分別從硅片花籃的側端和頂端插入硅片花籃中。上述硅片分片機，無需將硅片花籃中的硅片預先取出，在硅片花籃中即可將吸合在一起的硅片分開，同時通過側端吸盤和頂端吸盤的協同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片過程中硅片出現碎片和隱裂的幾率，實現了硅片分片的全程自動化操作，無需人工處理。

技術領域

本發明涉及硅片加工技術領域，特別是涉及一種硅片分片機。

背景技術

硅片在黑硅槽式機中進行單面制絨的過程中，位于硅片花籃同一籃齒中的兩片硅片會由于液體的張力作用兩兩吸合在一起，完成表面制絨的硅片從黑硅槽式機出來后，需要將硅片花籃中吸合在一起的硅片分開，才能進入制絨清洗鏈式機進行硅片表面清洗、烘干及后續的檢驗、包裝。目前對于硅片分片采取的是人工分片的方法，不僅分片效率低、容易造成碎片和隱裂，硅片中夾雜的酸堿溶液還會對工人的身體健康造成傷害。

發明內容

基于此，有必要針對硅片人工分片效率低、質量不穩定、易造成健康損害的問題，提供一種硅片分片機。

一種硅片分片機，包括工作平臺、夾持機構、側端吸盤、頂端吸盤，所述工作平臺的工作平面上設有用于承載硅片花籃的硅片花籃承載區，所述夾持機構位于所述工作平臺的工作平面上方，用于將硅片花籃通過夾持作用固定在所述工作平臺的工作平面上，所述側端吸盤位于所述工作平臺上的硅片花籃承載區的一側，所述頂端吸盤位于所述工作平臺上的硅片花籃承載區的上方，所述側端吸盤和頂端吸盤在工作時分別從硅片花籃的側端和頂端插入硅片花籃中。

上述硅片分片機，無需將硅片花籃中的硅片預先取出，在硅片花籃中即可將吸合在一起的硅片分開，可以實現與硅片上下游處理設備之間的連續化操作，同時通過側端吸盤和頂端吸盤的協同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片過程中硅片出現碎片和隱裂的幾率，單臺分片機器日產能可達17萬片，實現了硅片分片的全程自動化操作，無需人工處理。

在其中一個實施例中，所述夾持機構為氣缸夾持機構，所述氣缸夾持機構包括相對于硅片花籃承載區的X向氣缸和Y向氣缸。

在其中一個實施例中，所述側端吸盤和頂端吸盤為微孔陶瓷真空吸盤。

在其中一個實施例中，所述側端吸盤沿設置于工作平臺的工作平面上的絲杠相對于硅片花籃進行位置移動。

在其中一個實施例中，所述側端吸盤與伺服電機電連接。

在其中一個實施例中，所述頂端吸盤與外設的機器人設備連接。

附圖說明

圖1為本發明實施例的硅片分片機結構示意圖(吸盤未畫出)；

圖2為本發明實施例的硅片分片機的側端吸盤在插入硅片花籃前的位置示意圖；

圖3為本發明實施例的硅片分片機的側端吸盤在插入硅片花籃后的位置示意圖；

圖4為本發明實施例的硅片分片機的側端吸盤在插入硅片花籃后，頂端吸盤插入硅片花籃前的位置示意圖；

圖5為本發明實施例的硅片分片機的側端吸盤與頂端吸盤吸附硅片花籃中硅片具體位置的位置示意圖；

圖6為本發明實施例的硅片分片機的頂端吸盤吸附硅片后在機器人設備帶動下將吸住的硅片向上移動的示意圖；

圖7為本發明實施例的硅片分片機的側端吸盤破真空后退出硅片花籃的示意圖；

圖8為本發明實施例的硅片分片機的頂端吸盤吸附已與側端吸盤分離的硅片的示意圖。