[發(fā)明專利]硅片分片機(jī)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810690241.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-06-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108538965A | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張喜;唐亮;季威 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 揚(yáng)州協(xié)鑫光伏科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L31/18 | 分類號(hào)： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 225000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 吸盤 硅片花籃 工作平臺(tái) 側(cè)端 硅片分片 承載區(qū) 硅片 工作平面 夾持機(jī)構(gòu) 全程自動(dòng)化 人工處理 吸附作用 吸合 隱裂 取出 承載 協(xié)同 | ||
1.一種硅片分片機(jī)，其特征在于，包括工作平臺(tái)、夾持機(jī)構(gòu)、側(cè)端吸盤、頂端吸盤，所述工作平臺(tái)的工作平面上設(shè)有用于承載硅片花籃的硅片花籃承載區(qū)，所述夾持機(jī)構(gòu)位于所述工作平臺(tái)的工作平面上方，用于將硅片花籃通過夾持作用固定在所述工作平臺(tái)的工作平面上，所述側(cè)端吸盤位于所述工作平臺(tái)上的硅片花籃承載區(qū)的一側(cè)，所述頂端吸盤位于所述工作平臺(tái)上的硅片花籃承載區(qū)的上方，所述側(cè)端吸盤和頂端吸盤在工作時(shí)分別從硅片花籃的側(cè)端和頂端插入硅片花籃中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片機(jī)，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)為氣缸夾持機(jī)構(gòu)，所述氣缸夾持機(jī)構(gòu)包括相對(duì)于硅片花籃承載區(qū)的X向氣缸和Y向氣缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片機(jī)，其特征在于，所述側(cè)端吸盤和頂端吸盤為微孔陶瓷真空吸盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片機(jī)，其特征在于，所述側(cè)端吸盤沿設(shè)置于工作平臺(tái)的工作平面上的絲杠相對(duì)于硅片花籃進(jìn)行位置移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片機(jī)，其特征在于，所述側(cè)端吸盤與伺服電機(jī)電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片機(jī)，其特征在于，所述頂端吸盤與外設(shè)的機(jī)器人設(shè)備連接。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
