[發明專利]硅片切割廢液的處理方法及處理系統在審
| 申請號： | 201810686469.3 | 申請日： | 2018-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN108773934A | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發明（設計）人： | 陳江俊 | 申請（專利權）人： | 阜寧協鑫光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C02F9/04 | 分類號： | C02F9/04 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 224400 江蘇省鹽*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 廢液 硅片切割 廢液收集池 連通 處理系統 板框壓濾 離子交換罐 陶瓷膜組件 膜過濾 清液 壓濾 加酸裝置 凈化處理 離子交換 水質要求 依次設置 用水需求 壓濾液 生產工藝 | ||
1.一種硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，包括依次設置有：
廢液收集池，用于收集硅片切割過程中產生的廢液；
與所述廢液收集池一端連通的加酸裝置，用于調節所述廢液收集池的pH值；
與所述廢液收集池另一端連通的板框壓濾裝置，用于對流經所述板框壓濾裝置的廢液進行壓濾；
與所述板框壓濾裝置連通的陶瓷膜組件，用于對壓濾后的壓濾液進行膜過濾；
與所述陶瓷膜組件連通的離子交換罐，用于對膜過濾后的透濾液進行離子交換得到清液；
以及與所述離子交換罐連通的清液利用端。
2.根據權利要求1所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述離子交換罐包括依次設置的陽離子樹脂罐和陰離子樹脂罐。
3.根據權利要求2所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述陽離子樹脂罐中的陽離子樹脂為強酸性苯乙烯系陽離子交換樹脂，陽離子樹脂的粒徑為0.315-1.250mm。
4.根據權利要求2所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述陰離子樹脂罐中的陰離子樹脂為強堿性苯乙烯系陰離子交換樹脂，陰離子樹脂的粒徑為0.315-1.250mm。
5.根據權利要求3所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述陽離子樹脂罐中設定的壓力為0.2-0.4MPa。
6.根據權利要求4所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述陰離子樹脂罐中設定的壓力為0.2-0.4MPa。
7.根據權利要求1所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述陶瓷膜組件包括支撐體層、過渡層以及微孔膜層。
8.根據權利要求1所述的硅片切割廢液的處理系統，其特征在于，所述陰離子樹脂罐中安裝有電導率測試儀。
9.一種硅片切割廢液的處理方法，其特征在于，包括如下步驟：
將硅片切割廢液的pH值調至5.0-6.0；
然后依次進行板框壓濾、陶瓷膜過濾、離子交換得清液。
10.根據權利要求9所述的硅片切割廢液的處理方法，其特征在于，還包括如下步驟：
測定所述清液的電導率，當所述清液中的電導率在50us/cm以下時，將所述清液噴淋至金剛線和硅錠的表面。
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