[發(fā)明專利]一種大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810681514.6
• 申請(qǐng)日: 2018-06-27
• 公開（公告）號(hào): CN108906830A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 毛衛(wèi)平;張曉燕;章付華;毛建宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市蘭光光學(xué)科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B11/00
• 分類號(hào): B08B11/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/00;B08B1/00
• 代理公司: 廣東莞信律師事務(wù)所 44332
• 代理人: 蔡邦華

1.一種大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1)拋光完成的大口徑精密光學(xué)元件的預(yù)處理：大口徑精密光學(xué)元件拋光完成后，采用清潔工具對(duì)大口徑精密光學(xué)元件邊緣的殘留的拋光粉和固體污漬進(jìn)行清除處理；

S2)大口徑精密光學(xué)元件的預(yù)固定：經(jīng)過步驟S1)后的大口徑精密光學(xué)元件預(yù)固定在一個(gè)方形框架上，大口徑精密光學(xué)元件的邊緣嵌入所述方形框架內(nèi)；

S3)大口徑精密光學(xué)元件的上線輸送：將步驟S2)中固定在方形框架上的大口徑精密光學(xué)元件吊掛在產(chǎn)品輸送線上，大口徑精密光學(xué)元件的吊掛方式采用傾斜吊掛方式；

S4)大口徑精密光學(xué)元件的首次沖洗：步驟S3)中產(chǎn)品輸送線上的產(chǎn)品依次進(jìn)入到去離子水沖洗室，經(jīng)過特定導(dǎo)電率的去離子水沖洗一定的時(shí)間后進(jìn)入超聲波清洗槽；

S5)大口徑精密光學(xué)元件的二次沖洗：經(jīng)過步驟S4)去離子水沖洗后的產(chǎn)品進(jìn)入特定頻率的超聲波清洗槽；產(chǎn)品在超聲波清洗槽內(nèi)清洗特定的時(shí)間后進(jìn)入優(yōu)級(jí)純酒精置換槽；

S6)大口徑精密光學(xué)元件的酒精清洗：經(jīng)過步驟S5)超聲波清洗后的產(chǎn)品進(jìn)入到優(yōu)級(jí)純酒精置換槽進(jìn)行酒精清洗，優(yōu)級(jí)純酒精的乙醇含量>99.8％；

S7)大口徑精密光學(xué)元件的酒精脫水：經(jīng)過步驟S6)優(yōu)級(jí)純酒精置換后的產(chǎn)品進(jìn)入到酒精蒸汽脫水室，將酒精加熱至沸騰狀態(tài)，使酒精蒸汽對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行一定時(shí)間的處理；

S8)大口徑精密光學(xué)元件的擦拭：酒精蒸汽脫水后的產(chǎn)品從產(chǎn)品輸送線出來后采用柔軟的長纖維布對(duì)產(chǎn)品的表面進(jìn)行擦拭，避免元件在清洗過程中損傷；產(chǎn)品擦拭完成后封箱隔離包裝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，步驟S3)中的傾斜吊掛方式是將方形框架其中一個(gè)轉(zhuǎn)角進(jìn)行吊掛，使吊掛的轉(zhuǎn)角與其對(duì)角呈垂直狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，步驟S4)中的去離子水的導(dǎo)電率為15兆，去離子水清洗產(chǎn)品的時(shí)間為3分鐘～5分鐘，去離子水清洗產(chǎn)品時(shí)的壓力為常態(tài)壓力。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，所述步驟S5)中的超聲波清洗槽使用的超聲波量為270KHZ～300KHZ，超聲波清洗槽對(duì)產(chǎn)品的處理時(shí)間是2分鐘～5分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，所述步驟S7)中的酒精蒸汽脫水的時(shí)間為5分鐘～7分鐘。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，所述步驟S8)中的長纖維布對(duì)產(chǎn)品的表面進(jìn)行擦拭過程中采用慢速擦拭的方式。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大口徑精密光學(xué)元件表面潔凈處理方法，其特征在于，所述慢速擦拭的速度為0.05m/s～0.2m/s。