[發(fā)明專利]監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法

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• 申請日: 2018-06-27
• 公開（公告）號: CN108645959A
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉三泓
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01N31/16
• 分類號: G01N31/16;G03F7/42
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發(fā)明提供一種監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法，通過酸堿滴定的原理來監(jiān)控剝離液的堿度，從而監(jiān)控剝離液中胺類濃度的變化，若發(fā)現(xiàn)剝離液的堿度改變到無法有效進行剝離的數(shù)值，工作人員可以及時進行調整，避免所述剝離液的胺類成分的損耗造成液晶顯示面板的異常。

技術領域

本發(fā)明涉及液晶顯示面板，尤其涉及一種監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法。

背景技術

薄膜晶體管(TFT，ThinFilmTransistor)是陣列基板的重要元件之一，薄膜晶體管技術是液晶顯示技術的核心，對液晶顯示面板的質量有著重大的影響。隨著平板顯示(FlatPanelDisplay，F(xiàn)PD)技術的發(fā)展，人們對顯示器分辨率和畫面刷新速率的追求越來越高，因此新材料和新工藝的發(fā)展也迫在眉睫。

目前，在液晶顯示器(TFTLCD)的加工制造領域，導電層金屬的材料主要以鋁和鉬為主，鋁和鉬的優(yōu)點在于成膜工藝簡單，黏附性和平坦性較好，較柔軟且不容易發(fā)生爬坡斷線以及不容易擴散(擴散導致膜層污染)。對于小尺寸和低分辨率的面板而言，鋁是首選的理想導電金屬材料。但由于鋁的電阻率相對較大，因此對于大尺寸和高分辨率面板而言，就不能滿足需求了。

作為導電金屬材料，銅的導電率要遠遠優(yōu)于鋁，對于15.0寸的UXGA(UltraeXtendedGraphicsArray)顯示屏，采用銅取代鋁作為導電金屬材料，其面板分辨率可以提升35.2％，亮度可以提高32％，同時畫面閃爍(flicker)和線負載都能大大降低。因此，針對目前高分辨率面板的市場需求，將使用銅取代鋁應用到未來的顯示面板中。

在基底上制作薄膜晶體管的金屬走線時，由于銅的電阻率較小，更適合用于制作大尺寸液晶顯示裝置的金屬線電路，因此一般采用銅材料制作薄膜晶體管的電極。而在采用銅材料制作薄膜晶體管的電極或金屬線電路時，均需要進行圖案化，然后采用剝離液對圖案以外的銅材料進行剝離去除，隨著越來越多新技術和新工藝，不同濃度的胺類成分的剝離液對銅的剝離效果和效率均不同，而現(xiàn)有技術中未有任何方法可以確認剝離液的胺類濃度在使用過程中是否發(fā)生變化，當剝離液的胺類濃度下降到一定數(shù)值而無法保證剝離效果和效率時，容易造成剝離異常，進而造成液晶顯示面板異常，為了避免采用不同濃度的胺類成分的剝離液進行剝離制程而造成液晶顯示面板異常，亟需一種監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法，能夠監(jiān)控剝離液中胺類濃度的變化，避免剝離液的胺類成分的損耗造成液晶顯示面板的異常。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法，包括以下步驟：提供剝離標準液，所述剝離標準液包括第一、第二剝離標準液，分別測定所述第一、第二剝離標準液的堿度，確認出所述剝離標準液的堿度區(qū)間；提供剝離液，測定所述剝離液的堿度，確認所述剝離液的堿度是否在所述剝離標準液的堿度區(qū)間內；

所述第一、第二剝離標準液與所述剝離液均包括胺類成分，所述第一剝離標準液的胺類濃度大于所述第二剝離標準液的胺類濃度，所述第一剝離標準液的堿度大于所述第二剝離標準液的堿度。

所述監(jiān)控剝離液中胺類濃度變化的方法具體包括以下步驟：

步驟1、提供測試液、取樣容器及標準滴定溶液，所述標準滴定溶液為強酸，所述標準滴定溶液的酸度系數(shù)為1-4，所述標準滴定溶液的濃度為Ymol/L；

所述測試液包括剝離標準液和剝離液；所述剝離標準液包括第一、第二剝離標準液，所述第一剝離標準液的胺類濃度大于所述第二剝離標準液的胺類濃度；

步驟2、移取所述測試液X mL于所述取樣容器中得到液樣，使用所述標準滴定溶液對所述取樣容器中的液樣進行酸堿滴定至終點，記錄消耗所述標準滴定溶液的體積V_m，重復上述操作m次；