[發(fā)明專利]檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810672956.4
• 申請(qǐng)日: 2018-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN108766901B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉小虎;朱祎明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01B21/30
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，包括：

選用一檢測(cè)晶圓置于標(biāo)準(zhǔn)的晶圓工作臺(tái)上刻蝕第一層套刻圖形；

將刻蝕好第一層套刻圖形的所述檢測(cè)晶圓置于實(shí)際的晶圓工臺(tái)上刻蝕第二層套刻圖形；

計(jì)算所述第二層套刻圖形相對(duì)于所述第一層套刻圖形的套刻精度；

將計(jì)算到的套刻精度與一閾值進(jìn)行比較，如果所述套刻精度超過所述閾值，則判斷晶圓工作臺(tái)平坦度不達(dá)標(biāo)。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，所述套刻精度的檢測(cè)區(qū)域?yàn)閺臋z測(cè)晶圓的晶邊向內(nèi)3mm~5mm處開始，到檢測(cè)晶圓的晶邊向內(nèi)5mm~7mm處截止。

3.如權(quán)利要求2所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，計(jì)算所述第二層套刻圖形相對(duì)于所述第一層套刻圖形的套刻精度后，所述檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法還包括：去除所述第二層套刻圖形。

4.如權(quán)利要求2所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，所述檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法還包括：在刻蝕第一層套刻圖形之前，在檢測(cè)晶圓上選取多個(gè)半徑，選取的多個(gè)半徑將檢測(cè)晶圓劃分成多個(gè)扇區(qū)。

5.如權(quán)利要求4所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，選取的多個(gè)半徑中，任意兩個(gè)相鄰的半徑之間的夾角相同。

6.如權(quán)利要求5所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的同一半徑上具有多個(gè)第一層套刻圖形和第二層套刻圖形。

7.如權(quán)利要求6所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的同一半徑上的相鄰的所述第一層套刻圖形之間的間距小于1mm，檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的同一半徑上的相鄰的所述第二層套刻圖形之間的間距小于1mm。

8.如權(quán)利要求7所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，計(jì)算套刻精度的方法包括分別計(jì)算檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的第二層套刻圖形相對(duì)于第一層套刻圖形在X軸上的套刻精度和在Y軸上的套刻精度。

9.如權(quán)利要求8所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，通過如下公式獲取在X軸上的套刻精度：

其中：Vx為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)第二層套刻圖形的X軸上的套刻精度，為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)X軸上的多個(gè)套刻精度的平均值，為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)第二層套刻圖形的X軸上的套刻精度的標(biāo)準(zhǔn)差。

10.如權(quán)利要求9所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，通過如下公式獲取在Y軸上的套刻精度：

其中：V_Y為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)第二層套刻圖形的Y軸上的套刻精度，為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)Y軸上的多個(gè)套刻精度的平均值，為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)第二層套刻圖形的Y軸上的套刻精度的標(biāo)準(zhǔn)差。

11.如權(quán)利要求10所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，以在X軸上的套刻精度和在Y軸上的套刻精度分別制成X軸和Y軸上的兩條套刻精度監(jiān)控表。

12.如權(quán)利要求11所述的檢測(cè)晶圓工作臺(tái)平坦度的方法，其特征在于，判斷晶圓工作臺(tái)平坦度是否達(dá)標(biāo)包括：觀察X軸和Y軸的兩條套刻精度監(jiān)控表的值，若其中有一套刻精度超過閾值，則判斷晶圓工作臺(tái)平坦度不達(dá)標(biāo)。