[發(fā)明專利]光學(xué)檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810667121.X
• 申請日: 2018-06-26
• 公開（公告）號: CN109406542B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡振揚;陳維懋;謝洹圳;黃全偉
• 申請（專利權(quán)）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 王濤

本發(fā)明提供一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，包含第一光學(xué)檢測設(shè)備與第二光學(xué)檢測設(shè)備。第一光學(xué)檢測設(shè)備包含中空結(jié)構(gòu)、攝像裝置與環(huán)型光源。中空結(jié)構(gòu)具有第一端與第二端，第一端具有攝像透光區(qū)。中空結(jié)構(gòu)包含管體與腔體。腔體設(shè)置在管體的一側(cè)，第一端位于腔體遠離管體的一側(cè)，第二端位于管體遠離腔體的一側(cè)。攝像裝置位于第二端，攝像透光區(qū)的中心與攝像裝置的鏡頭中心定義中心軸線，腔體與管體沿中心軸線設(shè)置。環(huán)型光源圍繞中心軸線設(shè)置于腔體內(nèi)，且位于第一端與第二端之間，并向攝像透光區(qū)射出第一光線。第二光學(xué)檢測設(shè)備對應(yīng)中心軸線，設(shè)置于待測物的上表面，能讓使用者從晶粒的正面及背面查看個別的晶粒是否出現(xiàn)損傷或缺陷，從而判斷個別的晶粒是否合格。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，且特別是關(guān)于一種用于晶圓切割階段的光學(xué)檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在已知的技術(shù)中，在晶圓切割成晶粒后，晶粒會被粘貼于例如藍膜的透光膜上作為固定，繼而進行后續(xù)的相關(guān)檢測，并把其中不合格的晶粒抽出，以保障晶粒的出貨品質(zhì)。

由于晶粒的正面及背面均有可能在工藝中出現(xiàn)損傷或缺陷的狀況，因此，晶粒的正面及背面均需進行檢測。故此，如何以簡單及方便的程序有效地檢測晶粒的正面及背面，無疑為業(yè)界一個重要的課題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一在于提供一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，其能讓使用者可以從晶粒的正面及背面查看個別的晶粒是否出現(xiàn)損傷或缺陷，從而判斷個別的晶粒是否合格。

根據(jù)本發(fā)明的一實施方式，一種光學(xué)檢測系統(tǒng)用以檢測待測物，待測物的下表面粘貼于薄膜上。光學(xué)檢測系統(tǒng)包含第一光學(xué)檢測設(shè)備以及第二光學(xué)檢測設(shè)備。第一光學(xué)檢測設(shè)備用以設(shè)置于薄膜的下表面。第一光學(xué)檢測設(shè)備包含中空結(jié)構(gòu)、攝像裝置與環(huán)型光源。中空結(jié)構(gòu)具有相對的第一端以及第二端，第一端具有攝像透光區(qū)。中空結(jié)構(gòu)包含管體以及腔體。腔體設(shè)置在管體的一側(cè)，第一端位于腔體遠離管體的一側(cè)，第二端位于管體遠離腔體的一側(cè)。攝像裝置位于第二端，用以通過攝像透光區(qū)拍攝圖像，攝像透光區(qū)的中心與攝像裝置的鏡頭中心定義中心軸線，腔體與管體實質(zhì)上沿中心軸線設(shè)置。環(huán)型光源至少部分圍繞中心軸線設(shè)置于腔體內(nèi)，且位于第一端與第二端之間，并配置以朝向攝像透光區(qū)射出至少一第一光線。第二光學(xué)檢測設(shè)備對應(yīng)中心軸線，用以設(shè)置于待測物的上表面。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的環(huán)型光源具有發(fā)光表面，發(fā)光表面至少部分圍繞中心軸線設(shè)置，且發(fā)光表面相對中心軸線傾斜一角度，角度的范圍為約50度至約75度之間，發(fā)光表面配置以射出第一光線。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的第一光學(xué)檢測設(shè)備更包含同軸光源。此同軸光源設(shè)置于中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，并配置以平行中心軸線朝向攝像透光區(qū)射出至少一第二光線，其中第二光線為紅色、綠色、藍色或白色。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的第一光學(xué)檢測設(shè)備更包含透光板體。此透光板體設(shè)置于第一端作為攝像透光區(qū)，透光板體具有承載面，承載面配置以抵接待測物。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的透光板體為石英玻璃、藍寶石玻璃或其他透明材質(zhì)。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的承載面實質(zhì)上為平坦表面。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的腔體具有錐狀部以及支撐環(huán)，支撐環(huán)連接于錐狀部與管體之間，環(huán)型光源設(shè)置于支撐環(huán)內(nèi)，支撐環(huán)具有第一螺紋，錐狀部具有第二螺紋，第二螺紋耦合第一螺紋。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的錐狀部的外徑朝遠離管體的方向逐漸減小。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的中空結(jié)構(gòu)更包含凸出部。此凸出部位于錐狀部遠離管體的一側(cè)，凸出部沿中心軸線延伸，攝像透光區(qū)位于凸出部遠離錐狀部的一側(cè)。

在本發(fā)明一個或多個實施方式中，上述的環(huán)型光源為多色環(huán)型光源，環(huán)型光源包含紅色、綠色、藍色或白色的發(fā)光二極管光源。