[發明專利]光學檢測系統

有效

• 申請號: 201810667121.X
• 申請日: 2018-06-26
• 公開（公告）號: CN109406542B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 蔡振揚;陳維懋;謝洹圳;黃全偉
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王濤

1.一種光學檢測系統，用以檢測一待測物，所述待測物的下表面粘貼于一薄膜上，其特征在于，所述光學檢測系統包含：

一第一光學檢測設備，用以設置于所述薄膜的下表面，包含：

一中空結構，具有相對的一第一端以及一第二端，所述第一端具有一攝像透光區，所述中空結構包含一管體以及一腔體，所述腔體設置在所述管體的一側，所述第一端位于所述腔體遠離所述管體的一側，所述第二端位于所述管體遠離所述腔體的一側，所述腔體具有一錐狀部以及一支撐環，所述支撐環連接于所述錐狀部與所述管體之間，所述支撐環具有一第一螺紋，所述錐狀部具有一第二螺紋，所述第二螺紋耦合所述第一螺紋；

一攝像裝置，位于所述第二端，用以通過所述攝像透光區拍攝一圖像，所述攝像透光區的中心與所述攝像裝置的鏡頭中心定義一中心軸線，所述腔體與所述管體實質上沿所述中心軸線設置；

一環型光源，至少部分圍繞所述中心軸線設置于所述支撐環內，且位于所述中空結構第一端與所述第二端之間，并配置以朝向所述攝像透光區射出至少一第一光線；以及

一透光板體，設置于所述第一端作為所述攝像透光區，所述透光板體具有一承載面，所述承載面配置以抵接所述待測物；以及

一第二光學檢測設備，對應所述中心軸線，用以設置于所述待測物的上表面。

2.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，所述環型光源具有一發光表面，所述發光表面至少部分圍繞所述中心軸線設置，且所述發光表面相對所述中心軸線傾斜一角度，所述角度的范圍為50度至75度之間，所述發光表面配置以射出所述第一光線。

3.如權利要求2所述的光學檢測系統，其特征在于，所述第一光學檢測設備更包含：

一同軸光源，設置于所述中空結構內，并配置以平行所述中心軸線朝向所述攝像透光區射出至少一第二光線，其中所述第二光線為紅色、綠色、藍色或白色。

4.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，所述透光板體為石英玻璃、藍寶石玻璃或其他透明材質。

5.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，所述承載面實質上為平坦表面。

6.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，所述錐狀部的外徑朝遠離所述管體的一方向逐漸減小。

7.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，所述中空結構更包含：

一凸出部，位于所述錐狀部遠離所述管體的一側，所述凸出部沿所述中心軸線延伸，所述攝像透光區位于所述凸出部遠離所述錐狀部的一側。

8.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，所述環型光源為多色環型光源，所述環型光源包含紅色、綠色、藍色或白色的發光二極管光源。

9.如權利要求1所述的光學檢測系統，其特征在于，更包含：

一線性導引機構，連接所述中空結構，并配置以沿所述中心軸線線性移動所述中空結構。